[实用新型]玻璃基板搬运装置

权利要求书

1.一种玻璃基板搬运装置，包括卡匣及机械手臂，其特征在于，所述机械手臂上安装有一位置检知模块，用以检知玻璃基板相对于基准点的位置偏移量及偏移角度，所述位置检知模块具有：

第一位置感测模块；

第二位置感测模块，与所述第一位置感测模块配合，用以侦测玻璃基板的第一边缘相对于基准点的位置偏移量及偏移角度；

第三位置感测模块，与所述第一位置感测模块/所述第二位置感测模块配合，用以侦测玻璃基板的第二边缘相对于基准点的位置偏移量及偏移角度。

2.如权利要求1所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述机械手臂上还安装有控制模块，与所述位置检知模块相连，根据侦测到的位置偏移量及偏移角度计算出所述机械手臂所需的补偿量。

3.如权利要求1所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述机械手臂上还安装有角度限制模块，根据所述第一位置感测模块/所述第二位置感测模块侦测到的位置偏移量及偏移角度，限制所述机械手臂取片时的补偿量。

4.如权利要求3所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述机械手臂上还安装有调整模块，与所述角度限制模块相连，根据所述机械手臂所需补偿量调整所述机械手臂。

5.如权利要求3所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述机械手臂上还安装有报警模块，与所述角度限制模块相连，当所述机械手臂所需补偿量超出限制时报警。

6.如权利要求1所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述第一位置感测模块、所述第二位置感测模块及所述第三位置感测模块，为一光学传感器。

7.如权利要求6所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述光学传感器发出多束感应 光线。

8.如权利要求7所述的玻璃基板搬运装置，其特征在于，所述光学传感器发出的多束感应光线的长度根据不同需求进行调整。