[实用新型]一种晶体键合夹具

权利要求书

1.一种晶体键合夹具，包括底板（4）和顶板（1），其特征在于，所述底板（4）的上方设置有支撑座（5），所述支撑座（5）的上方安装有承压板（6），所述承压板（6）的上表面设置有凸起的键合板（10），且承压板（6）的上表面位于键合板（10）的两侧设置有导柱（3），所述键合板（10）的上表面设置有定位套（11），所述顶板（1）的下方安装有挤压板（8），所述挤压板（8）的下表面设置有与导柱（3）盈合的导套（9），且挤压板（8）的下方安装有键合槽（7）。

2.根据权利要求1所述的一种晶体键合夹具，其特征在于，所述底板（4）上表面的对角处安装有两个升降气缸（2），所述底板（4）与顶板（1）通过升降气缸（2）连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶体键合夹具，其特征在于，所述挤压板（8）和承压板（6）通过锁紧螺栓分别安装在顶板（1）和底板（4）上。

4.根据权利要求1所述的一种晶体键合夹具，其特征在于，所述键合槽（7）的内部设置有与定位套（11）盈合的插销（12）。

5.根据权利要求1所述的一种晶体键合夹具，其特征在于，所述键合槽（7）的内圈直径比承压板（6）的外圈直径大5mm。