[实用新型]一种用于PVD沉积设备的载板有效
| 申请号： | 201720615712.3 | 申请日： | 2017-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN206961858U | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 张杰;黄辉明;王树林;罗骞;宋广华 | 申请（专利权）人： | 福建金石能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 pvd 沉积 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于PVD沉积设备的载板，其特征在于：所述载板为一平面板，所述平面板内设有若干个用于承载基板的镂空凹槽，所述镂空凹槽上设有承载基板的边框。
2.根据权利要求1所述一种用于PVD沉积设备的载板，其特征在于：所述镂空凹槽数量在1-100之间，所述镂空凹槽的深度为0.5-1.5mm。
3.根据权利要求1所述一种用于PVD沉积设备的载板，其特征在于：所述边框的宽度为0.5-2mm。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
