[实用新型]一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构有效
| 申请号： | 201720610017.8 | 申请日： | 2017-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN207199584U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 陈园;史伟伟;杨晓琴;付少剑;曹雪;刘庆平;陆祥 | 申请（专利权）人： | 江西展宇新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18;C23C16/54 |
| 代理公司： | 南昌恒桥知识产权代理事务所(普通合伙)36125 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 334000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 饱和 用管式 pecvd 石墨 舟卡点半 保护 结构 | ||
1.一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构，包括：石墨舟片、卡点、大圆柱、中圆柱、小圆柱、凹型卡槽、陶瓷环，其特征在于：若干个石墨舟片，每一个石墨舟片上均固定的设置有若干个卡点；所述的每一个卡点的一端均置于其所在的石墨舟片的一侧，上述的每一个卡点的另一端穿过其所在的石墨舟片，并置于上述的石墨舟片的另一侧；每两个相邻的石墨舟片上对应位置的两个卡点之间均通过一个陶瓷环相套接；所述的每一个卡点均由：一个大圆柱，两个直径相等的中圆柱，两个直径相等的小圆柱构成，上述的大圆柱的一端置于一个石墨舟片的一侧，上述的大圆柱的另一端穿过上述的石墨舟片，并置于上述的石墨舟片的另一侧；上述的大圆柱的左右两个圆形端面分别通过一个小圆柱与一个中圆柱的一侧固定相连；所述的大圆柱与每个中圆柱之间均形成一个凹型卡槽；所述的一个陶瓷环的一端套入一块石墨舟片上的中圆柱与小圆柱，上述的陶瓷环的另一端套入相邻一块石墨舟片上对应位置的中圆柱与小圆柱。
2.根据权利要求1所述的一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构，其特征在于：所述的中圆柱的外径略小于陶瓷环的内径。
3.根据权利要求1或2所述的一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构，其特征在于：所述的陶瓷环两端与中圆柱、小圆柱套接部位的侧壁为实心设计，上述的陶瓷环余下部位的侧壁为镂空设计。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
