[实用新型]从关节部件及包含其的真空操纵系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种从关节部件及包含其的真空操纵系统。

背景技术

在大气环境中，如果需要同时使得物体在两个方向上线性移动具有多种实现方式。但是当被移动的物体位于真空腔中时，这种线性移动就遇到了困难。一般来说，出于设备的精简和布线的便利性考虑，驱动器(例如电机)都是位于真空腔外的大气环境中的，而被驱动物(例如离子注入机的引出电极)则是被置于真空腔中的。

目前，现有技术中，连接驱动器和被驱动物的关节部件存在不能保障移动的稳定性的问题，特别是当连接驱动器通过关节部件带动被驱动物在两个不同方向上运动时，两个不同方向上运动的相互干涉尤为严重，而造成被驱动物移动的不稳定。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术的关节部件存在不能保障移动的稳定性的缺陷，提供一种从关节部件及包含其的真空操纵系统。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种从关节部件，其特点在于，所述从关节部件包括：

从关节躯干；

第一轴承，所述第一轴承的一端与所述从关节躯干连接，且所述第一轴承的中心轴线与所述从关节躯干所在的平面垂直；

从关节支架，所述从关节支架节套设于所述第一轴承外，所述从关节支架设有旋转装置；

连接支架，所述连接支架上设有伸缩装置，所述伸缩装置与所述旋转装置连接，且所述伸缩装置用于调整所述连接支架与所述从关节支架间的距离；

第二轴承，所述第二轴承的一端与所述连接支架连接，且所述第二轴承的中心轴线与所述连接支架所在的平面垂直，且与所述第一轴承的中心轴线平行。

在本技术方案中，所述从关节躯干与驱动器连接，所述第二轴承与被驱动物连接。通过设置第一轴承，使套设于第一轴承外的从关节支架可以绕第一轴承的中心轴线转动，以补偿被驱动物沿垂直于第一轴承的中心轴线方向移动往返时的运动干涉；通过设置旋转装置和伸缩装置，以补偿了被驱动物沿第一轴承的中心轴线方向移动往返时的运动干涉，保证了被驱动物运动的稳定性。

较佳地，所述旋转装置包括主旋转装置和从旋转装置，所述伸缩装置的数量为两个，两个所述伸缩装置平行设置且分别与所述主旋转装置、所述从旋转装置连接。

在本技术方案中，通过设置两个平行的伸缩装置，保证被驱动物在远离从关节支架或靠近从关节支架的移动时的稳定性。

较佳地，所述从关节支架设有滑动轴，所述滑动轴的中心轴线垂直于所述第一轴承的中心轴线，所述滑动轴包括主滑动轴和从滑动轴，所述主滑动轴和从滑动轴分别连接于所述从关节支架相对应的两侧，且所述主滑动轴和从滑动轴分别穿设于所述主旋转装置和所述从旋转装置。

较佳地，所述主旋转装置包括：滑动轴限位器、主滑动轴关节支架、主滑动轴轴承、主弹性件和主紧固件，所述滑动轴限位器、所述主滑动轴轴承、所述主弹性件和所述主紧固件依次沿所述主滑动轴靠近所述从关节支架的一端至所述主滑动轴远离所述从关节支架的一端穿设于所述主滑动轴，且所述主滑动轴关节支架的一端卡设于所述主滑动轴轴承外，所述主滑动轴关节支架的另一端与所述伸缩装置连接。

较佳地，所述从旋转装置包括：第一从弹性件、从滑动轴关节支架、从滑动轴轴承、第二从弹性件和从紧固件，所述第一从弹性件、所述从滑动轴轴承、所述第二从弹性件和所述从紧固件依次沿所述从滑动轴靠近所述从关节支架的一端至所述从滑动轴远离所述从关节支架的一端穿设于所述从滑动轴，且所述从滑动轴关节支架卡设于所述从滑动轴轴承外，所述从滑动轴关节支架的另一端与所述伸缩装置连接。

在本技术方案中，通过设置主滑动轴关节支架沿主滑动轴旋转，以及从滑动轴关节支架沿从滑动轴旋转，补偿了被驱动物沿第一轴承的中心轴线方向移动往返时的运动干涉，保证了被驱动物运动的稳定性。

较佳地，所述伸缩装置包括：

伸缩轴承，所述伸缩轴承的中心轴线垂直于所述第二轴承的中心轴线，且所述伸缩轴承卡设于所述连接支架；

伸缩轴，所述伸缩轴穿设于所述伸缩轴承内，且所述伸缩轴的一端与所述旋转装置连接；

其中，所述伸缩轴的中心轴线与所述伸缩轴承的中心轴线重合，且所述伸缩轴相对于所述伸缩轴承沿所述伸缩轴的中心轴线方向移动。

在本技术方案中，通过设置伸缩轴承和伸缩轴，补偿了被驱动物沿第一轴承的中心轴线方向移动往返时的运动干涉，保证了被驱动物运动的稳定性。

较佳地，所述从关节躯干包括：

躯干本体；

底座，所述底座通过连接轴套设于所述躯干本体，且所述第一轴承连接于所述底座。