[实用新型]集成电路有效
| 申请号: | 201720583122.7 | 申请日: | 2017-05-23 |
| 公开(公告)号: | CN207009434U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
| 发明(设计)人: | C·里韦罗;P·弗纳拉;G·鲍顿;M·利萨特 | 申请(专利权)人: | 意法半导体(鲁塞)公司 |
| 主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 王茂华 |
| 地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 集成电路 | ||
1.一种集成电路,其特征在于,包括互连部分(PITX),所述互连部分包括:位于由绝缘包封层(C1)覆盖的下金属化层级(Mn)与上金属化层级(Mn+1)之间的至少一个通孔层级(Vn);以及至少一个电中断(C20,C10,C4),所述至少一个电中断在所述通孔层级的至少第一通孔(V1)与所述下金属化层级的至少第一轨(P1)之间,位于所述包封层(C1)的层级处。
2.根据权利要求1所述的集成电路,其特征在于,包括在每个第一通孔的位置处的孔口(OR1),所述孔口穿过所述包封层(C1)并且延伸进入每个相应底层第一金属轨(P1)的一部分中,所述孔口的内壁和底部涂覆有第一绝缘层(C2),每个第一通孔(V1)通过形成相应电中断的所述第一绝缘层的相应部分(C20)与每个相应第一轨分离,而所述通孔层级的其他通孔(V2)穿过所述包封层与所述下金属化层级的相应轨电接触。
3.根据权利要求1所述的集成电路,其特征在于,每个第一通孔(V1)通过所述包封层的形成相应电中断的第一相应部分(C10)与每个相应第一轨分离,而所述通孔层级的其他通孔(V2)穿过所述包封层与所述下金属化层级的相应轨电接触。
4.根据权利要求1所述的集成电路,其特征在于,包括在每个第一通孔(V1)的位置处的所述包封层(C1)的中断区,所述中断区被覆盖相应底层金属轨(P1)的第二相应部分(P12)的金属氧化物绝缘层(C4)填充,每个第一通孔(V1)通过形成相应电中断(C4)的相应金属氧化物绝缘层(C4)与相应第一轨分离,而所述通孔层级的其他通孔(V2)穿过所述包封层与所述下金属化层级的相应轨电接触。
5.一种物体,其特征在于,包含根据权利要求1至4之一所述的集成电路(ICi)。
6.根据权利要求5所述的物体,其特征在于,所述物体形成智能卡(CP)。
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