[实用新型]集成电路有效

专利信息
申请号: 201720583122.7 申请日: 2017-05-23
公开(公告)号: CN207009434U 公开(公告)日: 2018-02-13
发明(设计)人: C·里韦罗;P·弗纳拉;G·鲍顿;M·利萨特 申请(专利权)人: 意法半导体(鲁塞)公司
主分类号: H01L23/528 分类号: H01L23/528
代理公司: 北京市金杜律师事务所11256 代理人: 王茂华
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 集成电路
【权利要求书】:

1.一种集成电路,其特征在于,包括互连部分(PITX),所述互连部分包括:位于由绝缘包封层(C1)覆盖的下金属化层级(Mn)与上金属化层级(Mn+1)之间的至少一个通孔层级(Vn);以及至少一个电中断(C20,C10,C4),所述至少一个电中断在所述通孔层级的至少第一通孔(V1)与所述下金属化层级的至少第一轨(P1)之间,位于所述包封层(C1)的层级处。

2.根据权利要求1所述的集成电路,其特征在于,包括在每个第一通孔的位置处的孔口(OR1),所述孔口穿过所述包封层(C1)并且延伸进入每个相应底层第一金属轨(P1)的一部分中,所述孔口的内壁和底部涂覆有第一绝缘层(C2),每个第一通孔(V1)通过形成相应电中断的所述第一绝缘层的相应部分(C20)与每个相应第一轨分离,而所述通孔层级的其他通孔(V2)穿过所述包封层与所述下金属化层级的相应轨电接触。

3.根据权利要求1所述的集成电路,其特征在于,每个第一通孔(V1)通过所述包封层的形成相应电中断的第一相应部分(C10)与每个相应第一轨分离,而所述通孔层级的其他通孔(V2)穿过所述包封层与所述下金属化层级的相应轨电接触。

4.根据权利要求1所述的集成电路,其特征在于,包括在每个第一通孔(V1)的位置处的所述包封层(C1)的中断区,所述中断区被覆盖相应底层金属轨(P1)的第二相应部分(P12)的金属氧化物绝缘层(C4)填充,每个第一通孔(V1)通过形成相应电中断(C4)的相应金属氧化物绝缘层(C4)与相应第一轨分离,而所述通孔层级的其他通孔(V2)穿过所述包封层与所述下金属化层级的相应轨电接触。

5.一种物体,其特征在于,包含根据权利要求1至4之一所述的集成电路(ICi)。

6.根据权利要求5所述的物体,其特征在于,所述物体形成智能卡(CP)。

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