[实用新型]基板边部检测设备

说明书

技术领域

本公开涉及基板边部检测技术领域，具体地，涉及一种基板边部检测设备。

背景技术

在基板生产过程中需要对基板边部研磨、倒角和抛光处理，而在此过程中可能因各种工艺参数不合理或受到冲击等其他因素造成边部烧边、欠磨、裂纹等缺陷。由此为了能够保证生产质量，普遍通过采用检测设备对基板边部进行检测是否存在各类缺陷。而在现有技术中，这种检测设备的布置位置可能受制于生产线中的基板传送装置的限制，具有安装不方便的问题。

实用新型内容

本公开解决的问题是提供一种便于安装的基板边部检测设备。

为了实现上述目的，本公开提供一种基板边部检测设备，所述基板边部检测设备包括：拍摄单元，该拍摄单元布置在靠近基板边缘的第一侧表面的位置以能够拍摄到基板边缘的所述第一侧表面的图像；照明单元，该照明单元用于对基板边缘照射光；第一反光单元，该第一反光单元布置在靠近基板边缘的第二侧表面的位置，所述拍摄单元通过所述第一反光单元能够拍摄到基板边缘的所述第二侧表面的图像。

可选地，所述第一反光单元能够对基板边缘的所述第二侧表面的光线反射180°后射入所述拍摄单元。

可选地，所述第一反光单元包括位于基板边缘的所述第二侧表面的正上方的第一直角棱镜、以及位于基板边缘的所述第二侧表面的斜上方的第二直角棱镜，所述第一直角棱镜和所述第二直角棱镜的倾斜表面均背对于所述第二侧表面。

可选地，所述基板边部检测设备包括用于调整所述第一反光单元的位置和角度的位置调整装置，所述第一反光单元设置在该位置调整装置上。

可选地，所述基板边部检测设备还包括布置在基板边缘的顶端面外侧的第二反光单元，所述拍摄单元通过所述第二反光单元能够拍摄到基板边缘的顶端面的图像。

可选地，所述第二反光单元为第三直角棱镜且该第三直角棱镜的倾斜表面背对于基板边缘的所述顶端面。

可选地，所述照明单元包括基板边缘的顶端延伸线为基准对称布置在基板边缘外侧的第一照明部和第二照明部。

可选地，所述照明单元为LED灯光源或卤素灯光源。

可选地，所述拍摄单元为线阵CCD相机或面阵CCD相机。

可选地，所述基板边部检测设备包括壳体，所述拍摄单元、所述第一反光单元和所述照明单元集成在所述壳体中，所述壳体对应于基板边缘的表面上形成有用于容纳基板边缘的开口槽，所述第一反光单元和所述拍摄单元位于所述开口槽的两侧且分别与所述开口槽对应布置。

通过上述技术方案，即，在通过照明单元向基板边缘照射光的状态下，由于拍摄单元布置在靠近基板边缘的第一侧表面的位置而能够直接拍摄到基板边缘的所述第一侧表面的图像，并且利用第一反光单元将基板边缘的第二侧表面的光反射至拍摄单元，使得拍摄单元通过该第一反光单元拍摄到基板边缘的所述第二侧表面的图像，从而能够实现检测基板边部是否存在缺陷。由此，通过如上所述的布置结构能够有效实现检测基板边部的缺陷的同时，基板边部检测设备的安装位置并不会受到基板传送装置等其他结构的限制而具有安装方便的效果。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1为根据本公开具体实施方式的基板边部检测设备的结构示意图。

附图标记说明

1基板 2拍摄单元

3第一反光单元 4照明单元

5第一直角棱镜 6第二直角棱镜

7第三直角棱镜 8第一照明部

9第二照明部 10 壳体

11 第一侧表面 12 第二侧表面

13 开口槽

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。