[实用新型]基板边部检测设备

权利要求书

1.一种基板边部检测设备，其特征在于，所述基板边部检测设备包括：拍摄单元(2)，该拍摄单元(2)布置在靠近基板(1)边缘的第一侧表面(11)的位置以能够拍摄到基板(1)边缘的所述第一侧表面(11)的图像；照明单元(4)，该照明单元(4)用于对基板(1)边缘照射光；第一反光单元(3)，该第一反光单元(3)布置在靠近基板(1)边缘的第二侧表面(12)的位置，所述拍摄单元(2)通过所述第一反光单元(3)能够拍摄到基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的图像。

2.根据权利要求1所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述第一反光单元(3)布置为能够对基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的光线反射180°后射入所述拍摄单元(2)。

3.根据权利要求2所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述第一反光单元(3)包括位于基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的正上方的第一直角棱镜(5)、以及位于基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的斜上方的第二直角棱镜(6)，所述第一直角棱镜(5)和所述第二直角棱镜(6)的倾斜表面均背对于所述第二侧表面(12)。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述基板边部检测设备包括用于调整所述第一反光单元(3)的位置和角度的位置调整装置，所述第一反光单元(3)设置在该位置调整装置上。

5.根据权利要求1所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述基板边部检测设备还包括布置在基板(1)边缘的顶端面外侧的第二反光单元，所述拍摄单元(2)通过所述第二反光单元能够拍摄到基板(1)边缘的顶端面的图像。

6.根据权利要求5所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述第二反光单元为第三直角棱镜(7)且该第三直角棱镜(7)的倾斜表面背对于基板(1)边缘的所述顶端面。

7.根据权利要求1所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述照明单元(4)包括以基板(1)边缘的顶端延伸线为基准对称布置在基板(1)边缘外侧的第一照明部(8)和第二照明部(9)。

8.根据权利要求1所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述照明单元(4)为LED灯光源或卤素灯光源。

9.根据权利要求1所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述拍摄单元(2)为线阵CCD相机或面阵CCD相机。

10.根据权利要求1所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述基板边部检测设备包括壳体(10)，所述拍摄单元(2)、所述第一反光单元(3)和所述照明单元(4)集成在所述壳体(10)中，所述壳体(10)对应于基板(1)边缘的表面上形成有用于容纳基板(1)边缘的开口槽(13)，所述第一反光单元(3)和所述拍摄单元(2)位于所述开口槽(13)的两侧且分别与所述开口槽(13)对应布置。