[实用新型]一种检测机台表面的水平检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机台检测领域，尤其涉及一种检测机台表面的水平检测装置。

背景技术

在设备调机过程中，使机台水平设置是尤关键的一点，例如，在光刻部门，如果承载晶圆的托盘不水平，将会导致光阻的厚度的不均匀，若在托盘在严重倾斜的境况且处于高速运转下，可能导致晶圆飞片或者触碰到机台其他的部位，导致晶片损坏报废，另一方面在传动晶圆的过程中，如果传送晶圆的机械臂不水平的话，可能导致晶圆的刮伤或者碎片。现有的水平检测仪通常采用的是气泡水平仪，其在测量机台表面是否水平时，往往检测不够灵敏，并且在检测过程中操作非常的不便。

发明内容

针对现有技术中水平仪在机台表面检测存在的上述问题，现提供一种具有检测灵敏度较高，且能精准反映机台表面是否水平的机台表面的水平检测装置。

具体技术方案如下：

一种机台表面的水平检测装置，应用于检测机台表面是否水平，其中，包括：

基座，设置于所述检测机台表面上，可调节水平且可沿着所述检测机台表面移动；

支杆，垂直的设置于所述基座上；

线圈，设置于所述支杆的内部；

磁体，套设于所述支杆上，且沿着所述支杆的设置方向可上下移动；

探针，所述探针一端通过一刚性结构与所述磁体连接，另一端与所述机 台表面接触，且所述探针与所述机台表面垂直；

电流检测装置，连接所述线圈的两端。

优选的，所述基座中设置有水平仪。

优选的，所述基座的顶部设置有多个通孔，多个所述通孔位于所述水平仪的周围；

通过设置的螺丝穿过所述通孔与所述机台表面接触。

优选的，所述水平仪为气泡水平仪。

优选的，还包括一弹性部件，设置于所述支杆上；

所述弹性部件的一端与所述磁体的底部连接，另一端与所述基座的顶部连接，所述弹性部件用以支撑所述磁体处于初始位置。

优选的，所述刚性结构包括一横杆，以及一与所述横杆连接的可伸缩装置，所述伸缩装置用以调整所述探针于水平方向的伸出长度；

所述伸缩装置包括：

本体，所述本体的底部与所述横杆连接；

伸缩杆，可伸缩的设置于所述本体的内部，所述伸缩杆的于背向所述本体的一端与所述探针连接；

滑槽，于所述本体上沿着所述伸缩杆的伸出方向设置；

固定部件，设置于所述伸缩杆于靠近所述支杆的一端，并且伸出所述滑槽，所述固定部件用以控制所述伸缩杆伸出的长度。

优选的，所述伸缩杆于朝向滑槽的一面沿着所述伸缩杆的伸出方向设置有一尺寸刻度。

优选的，所述探针与所述机台表面接触的一端设置有一尖端突出。

优选的，所述电流检测装置为灵敏电流计。

优选的，所述支杆由绝缘材质制成。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：水平检测装置在检测过程中操作更加简单方便，可灵敏的检测出主机台表面的平整度，并且检测精度更高。

附图说明

图1为本实用新型一种机台表面的水平检测装置的实施例的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种机台表面的水平检测装置的实施例中，关于基座顶部的俯视图。

附图标记表示：

1、机台表面；2、基座；3、支杆；4、磁体；5、刚性结构；6、探针；7、尖端突出；8、弹性部件；9、电流检测装置；21、水平仪；22、通孔；23、螺丝。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

如图1所示，一种机台表面的水平检测装置的实施例，应用于检测机台表面1是否水平，其特征在于，包括：

基座2，设置于检测机台表面1上，可调节水平且可沿着检测机台表面1移动；

支杆3，垂直的设置于基座2上；

线圈，设置于支杆3的内部；

磁体4，套设于支杆3上，且沿着支杆3的设置方向可上下移动；