[实用新型]一种检测机台表面的水平检测装置有效
申请号: | 201720533822.5 | 申请日: | 2017-05-15 |
公开(公告)号: | CN207066420U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 姚佳辉 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G01C9/24 | 分类号: | G01C9/24 |
代理公司: | 上海申新律师事务所31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 机台 表面 水平 装置 | ||
1.一种机台表面的水平检测装置,应用于检测机台表面是否水平,其特征在于,包括:
基座,设置于所述检测机台表面上,可调节水平且可沿着所述检测机台表面移动;
支杆,垂直的设置于所述基座上;
线圈,设置于所述支杆的内部;
磁体,套设于所述支杆上,且沿着所述支杆的设置方向可上下移动;
探针,所述探针一端通过一刚性结构与所述磁体连接,另一端与所述机台表面接触,且所述探针与所述机台表面垂直;
电流检测装置,连接所述线圈的两端。
2.根据权利要求1所述的水平检测装置,其特征在于,所述基座中设置有水平仪。
3.根据权利要求2所述的水平检测装置,其特征在于,所述基座的顶部设置有多个通孔多个所述通孔位于所述水平仪的周围;
通过设置的螺丝穿过所述通孔与所述机台表面接触。
4.根据权利要求3所述的水平检测装置,其特征在于,所述水平仪为气泡水平仪。
5.根据权利要求1所述的水平检测装置,其特征在于,还包括一弹性部件,设置于所述支杆上;
所述弹性部件的一端与所述磁体的底部连接,另一端与所述基座的顶部连接,所述弹性部件用以支撑所述磁体处于初始位置。
6.根据权利要求1所述的水平检测装置,其特征在于,所述刚性结构包括一横杆,以及一与所述横杆连接的可伸缩装置,所述伸缩装置用以调整所述探针于水平方向的伸出长度;
所述伸缩装置包括:
本体,所述本体的底部与所述横杆连接;
伸缩杆,可伸缩的设置于所述本体的内部,所述伸缩杆的于背向所述本体的一端与所述探针连接;
滑槽,于所述本体上沿着所述伸缩杆的伸出方向设置;
固定部件,设置于所述伸缩杆于靠近所述支杆的一端,并且伸出所述滑槽,所述固定部件用以控制所述伸缩杆伸出的长度。
7.根据权利要求6所述的水平检测装置,其特征在于,所述伸缩杆于朝向滑槽的一面沿着所述伸缩杆的伸出方向设置有一尺寸刻度。
8.根据权利要求1所述的水平检测装置,其特征在于,所述探针与所述机台表面接触的一端设置有一尖端突出。
9.根据权利要求1所述的水平检测装置,其特征在于,所述电流检测装置为灵敏电流计。
10.根据权利要求1所述的水平检测装置,其特征在于,所述支杆由绝缘材质制成。
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