[实用新型]一种阳极键合装置有效
| 申请号： | 201720512308.3 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN207483358U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 郑志霞;何灏泽;黄赛琴 | 申请（专利权）人： | 莆田学院 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 王玉平 |
| 地址： | 351100 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热板 键合 阳极键合装置 高压脉冲电源 加热温控系统 数据采集装置 键合设备 电连接 高压直流电源 本实用新型 信号输出端 大气环境 高压脉冲 高压直流 加热电源 螺栓固定 实验用具 显示装置 支架安装 上端 耗尽层 键合片 埋氧层 下端 离子 玻璃 测试 扩散 成功 | ||
【权利要求书】：
1.一种阳极键合装置，其特征在于，所述阳极键合装置设置有加热板；所述加热板的下端通过螺栓固定安装有加热温控系统；加热板通过导线与加热电源电连接；加热温控系统通过导线分别与高压直流电源和高压脉冲电源电连接；
加热板的上端通过支架安装有数据采集装置；数据采集装置的信号输出端与显示装置相连接；所述数据采集装置的信号输入端与加热板通过信号线连接。
2.如权利要求1所述的阳极键合装置，其特征在于，所述加热温控系统包括平板式阳极和阴极螺旋式加压装置，平板式阳极通过导线连接有阳极探针电极，阴极螺旋式加压装置通过导线连接有阴极线电极。
3.如权利要求2所述的阳极键合装置，其特征在于，所述阳极探针电极与阴极线电极之间安装有键合平台。
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