[实用新型]玻璃基板的内部缺陷在线检测装置

权利要求书

1.一种玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述玻璃基板的内部缺陷在线检测装置包括能够夹持玻璃基板(10)的夹持机构(11)以及位于所述玻璃基板(10)的一侧边缘处的检测光源(12)，所述玻璃基板的内部缺陷在线检测装置还包括安装于所述夹持机构(11)并且位于所述玻璃基板(10)的至少一侧的测厚传感器(13)。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述测厚传感器(13)包括安装于所述夹持机构(11)的本体和与所述本体连接的可伸缩探头，其中，所述可伸缩探头能够垂直于所述玻璃基板(10)的表面伸缩。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述可伸缩探头与所述玻璃基板(10)的所述一侧边缘的距离为5mm-40mm。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述玻璃基板的内部缺陷在线检测装置包括与所述测厚传感器(13)电联接的测量显示仪(14)。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述夹持机构(11)包括分别位于所述玻璃基板(10)两侧且相对设置的第一夹板(110)和第二夹板(111)，其中，所述第一夹板(110)和/或所述第二夹板(111)能够沿着所述玻璃基板(10)的厚度方向往复移动。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述第一夹板(110)和所述第二夹板(111)均沿垂直于所述玻璃基板(10)行进方向的水平方向延伸。

7.根据权利要求5所述的玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述第一夹板(110)和/或所述第二夹板(111)上设置有多个测厚传感器(13)，多个所述测厚传感器(13)并排设置于相应的夹板。

8.根据权利要求5所述的玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述第一夹板(110)和/或所述第二夹板(111)上开设有用于安装所述测厚传感器(13)的孔(112)。

9.根据权利要求5所述的玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述第一夹板(110)和所述第二夹板(111)上均设置有所述测厚传感器(13)，位于所述第一夹板(110)和所述第二夹板(111)上的所述测厚传感器(13)彼此相对设置。

10.根据权利要求1所述的玻璃基板的内部缺陷在线检测装置，其特征在于，所述检测光源(12)包括线光源。