[实用新型]分膜装置、分膜机械手和分膜设备

权利要求书

1.一种分膜装置，其特征在于，包括分膜嘴、壳体和吸气装置，所述壳体内具有吸气通道，所述分膜嘴设置在所述壳体的一端且与所述吸气通道连通，所述吸气装置设置在所述壳体的另一端。

2.如权利要求1所述的分膜装置，其特征在于，所述分膜嘴呈V型设置，一面设有与所述吸气通道连通的进气栅栏。

3.如权利要求2所述的分膜装置，其特征在于，所述壳体外形呈长方体设置或者呈圆柱体设置，所述分膜嘴与所述壳体一体设置或者分开设置。

4.如权利要求1至3中任一项所述的分膜装置，其特征在于，所述吸气装置为真空泵或风扇。

5.一种分膜机械手，其特征在于，包括如权利要求1至4中任一项所述的分膜装置、驱动所述分膜装置沿上下运动的第一驱动机构和驱动所述分膜装置沿左右运动的第二驱动机构。

6.如权利要求5所述的分膜机械手，其特征在于，所述第一驱动机构包括气缸和推块，所述壳体与所述推块连接。

7.如权利要求6所述的分膜机械手，其特征在于，所述第二驱动机构包括水平设置的导轨和滑块，所述滑块设置在所述导轨上，所述滑块还和所述气缸连接。

8.如权利要求7所述的分膜机械手，其特征在于，所述第二驱动机构还包括同步带和同步轮以及步进电机，所述同步轮包括第一同步轮和第二同步轮，所述步进电机设置在所述导轨的一端，其转轴与所述第一同步轮连接，所述第二同步轮相对设置在所述导轨的另一端，所述第一同步轮与第二同步轮之间通过同步带连接，所述同步带与所述滑块连接。

9.如权利要求8所述的分膜机械手，其特征在于，还包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器和第二传感器相对水平设置在所述第一同步轮和第二同步轮之间，用于监控滑块的运动状态和运动位置。

10.一种分膜设备，其特征在于，包括如权利要求5至9中任一项所述的分膜机械手。