[实用新型]一种晶元环尺寸可互换的自动固晶机

权利要求书

1.一种晶元环尺寸可互换的自动固晶机，包括：

基座（1）；

用于放置需要点胶及固晶的材料的载件机构（2），其固定在基座一端；

用于在取胶工位的胶盘内取胶并在点胶位对所述载件机构（2）上的固晶位进行点胶的点胶机构（3），其设置在载件机构（2）上方、基座后侧支撑部上；

用于固定晶片膜及对晶片膜扩晶的扩晶环晶元工作台机构（4），其固定在基座另一端；

用于从所述扩晶环晶元工作台机构（4）的晶片膜上拾取晶片，携带晶片旋转到达所述载件机构（2）上的固晶位，并将晶片固定在所述点胶位材料上的取晶固晶机构（6），其设置在扩晶环晶元工作台机构（4）上方、基座后侧支撑部上；

其特征在于，还包括：

用于顶起所述扩晶环晶元工作台机构（4）上固定的晶片膜并将晶片膜进一步固定的顶针机构（5），其固定在基座（1）上、扩晶环晶元工作台机构（4）下方；

其中，扩晶环晶元工作台机构（4）的工作台平面与载件机构（2）的工作台平面部分交互。

2.根据权利要求1所述的自动固晶机，其特征在于，扩晶环晶元工作台机构（4）的工作台平面与载件机构（2）的工作台平面部分交互，是指载件机构（2）的工作台平面高于扩晶环晶元工作台机构（4）的工作平面（44）且部分重叠。

3.根据权利要求1所述的自动固晶机，其特征在于，扩晶环晶元工作台机构（4）的工作台平面与载件机构（2）的工作台平面部分交互，是指载件机构（2）的工作台平面低于扩晶环晶元工作台机构（4）的工作平面（44）且部分重叠。

4.根据权利要求1-3任一项所述的自动固晶机，其特征在于，所述的载件机构（2）包括：放置点胶材料的载板（21），及固定在基座上、与载板（21）连接并驱动载板（21）移动的第一X/Y table组件（22），第一X/Y table组件上设置有防尘板（23）。

5.根据权利要求1-3任一项所述的自动固晶机，其特征在于，所述的扩晶环晶元工作台机构（4）包括：设置在基座上、驱动晶元工作台机构运动的第二X/Y table组件（41），固定在第二X/Y table组件（41）上并随其运动、且固定晶元扩晶环组件的晶元底座组件（42），及对晶片膜进行扩晶及固定晶片膜的晶元扩晶环组件（43）。

6.根据权利要求5所述的自动固晶机，其特征在于，所述的晶元底座组件（43），主要包括晶元基座（421），设置在晶元基座上的晶元支撑（422），固定在晶元支撑上、用于安装晶元扩晶环组件（43）的晶元载板（423），设置在晶元载板（423）上的锁紧杆座（424），及与锁紧杆座（424）匹配的锁紧杆（425），晶元载板（423）上还设置有第一导向轮（426）、第二导向轮（427）、及晶元扩晶环定位螺钉（429），晶元基座（421）和晶元载板（423）通过Z向调节螺栓（4231）连接。

7.根据权利要求5所述的自动固晶机，其特征在于，所述的晶元扩晶环组件（43），用于将晶片膜进行扩晶及固定晶片膜，主要包括：晶元扩晶环本体（431），设置在晶元扩晶环本体内侧、放置晶片膜的晶元基环（432），设置在晶元扩晶环本体（431）上的晶元压环（433），设置在晶元扩晶环本体边缘上、将晶片膜固定在晶元扩晶环本体（431）上的锁紧块（434）及弹垫（435），通过锁紧块（434）将晶片膜固定在晶元扩晶环本体的锁紧螺母（436），及与锁紧螺母配合固定的锁紧螺钉（437）。

8.根据权利要求1-3任一项所述的自动固晶机，其特征在于，所述的顶针机构5包括：设置在基座上的偏心轮组件，及与偏心轮组件顶部连接、顶起晶片膜并通过真空将晶片膜固定的顶针，所述偏心轮组件用于驱动所述顶针运行。