[实用新型]清洗设备有效
| 申请号: | 201720474012.7 | 申请日: | 2017-04-28 |
| 公开(公告)号: | CN206672899U | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
| 发明(设计)人: | 曹飞;吴文泽;井昱 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;B08B3/00;B08B7/04 |
| 代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 黄德海 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 清洗 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及平板显示器的技术领域,尤其涉及一种清洗设备。
背景技术
AMOLED可通过精细金属掩膜加工出,即是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到背板上以获得掩膜板,然后利用多种不同的清洗液对掩膜板进行清洗。在对掩膜板的清洗过程中,掩膜板表面会附着一些清洗液,在利用下一个清洗液对其清洗时,容易对下一个清洗液造成污染,而且掩膜板表面的清洗液容易滴落到清洗设备上或清洗设备的周围,继而造成污染。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种清洗设备,在保证清洗设备工作效率的同时还可以解决不同的清洗液之间的污染问题,并且能有效地改善清洗液低落到清洗设备上或滴落到清洗设备的周围而造成的污染问题。
根据本实用新型实施例的清洗设备,包括:多个盛放部,多个所述盛放部并排设置且分别盛放有不同的清洗液;用于取放掩膜板的取放装置,所述取放装置在多个所述盛放部的排列方向上可移动;干燥装置,在所述取放装置将所述掩膜板从所述盛放部内取出时,所述干燥装置用于干燥所述掩膜板。
根据本实用新型实施例的清洗设备,通过设置干燥装置以在取放装置从盛放部内的清洗液中取出掩膜板的过程中对掩膜板进行干燥处理,从而在保证清洗设备工作效率的同时还可以解决不同的清洗液之间的污染问题,另外还能有效地改善取放装置从盛放部内的清洗液中取出的掩膜板上附着的清洗液低落到清洗设备上或滴落到清洗设备的周围而造成的污染问题。
根据本实用新型的一些实施例,所述干燥装置包括:气刀。从而能够有效地提高干燥装置对掩膜板的干燥效果。
可选地,所述气刀设在所述盛放部上。从而可以实现对气刀的固定,提高清洗设备工作的稳定性,同时也使清洗设备的结构简单。
具体地,每个所述盛放部对应设有两个所述气刀,与每个所述盛放部对应设置的两个所述气刀相对设置。从而能够进一步地提高干燥装置对掩膜板的干燥效果,保证清洗设备工作的可靠性。
可选地,所述干燥装置还包括支撑杠,所述气刀安装在所述支撑杠上。从而可实现对气刀的另一种固定方式,提高清洗设备工作的灵活性。
可选地,所述支撑杠为丝杠,所述支撑杠安装在所述取放装置上且适于带动所述气刀上下移动。从而,通过气刀的上下移动,有利于提高干燥装置对掩膜板的干燥效果。
具体地,在所述取放装置向上移动以取出所述掩膜板时,所述支撑杠带动所述气刀向下移动以向所述掩膜板吹气。从而使气刀能够移动地对取出的掩膜板进行干燥,从而有利于保证气刀吹出的气流能够更加均匀地吹向掩膜板的表面,进而提高干燥装置对掩膜板的干燥效果。
可选地,所述干燥装置为两个,两个所述干燥装置分别设在所述取放装置的两侧。从而使干燥装置对掩膜板的干燥处理更加均匀,有利于提高干燥装置对掩膜板的干燥效果,同时使清洗设备的结构简单,成本低。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1是根据本实用新型一些实施例的清洗设备的主视图;
图2是根据本实用新型一些实施例的清洗设备的左视图;
图3是根据本实用新型一些实施例的清洗设备的俯视图;
图4是根据本实用新型另一些实施例的清洗设备的主视图;
图5是根据本实用新型另一些实施例的清洗设备的左视图;
图6是根据本实用新型另一些实施例的清洗设备的俯视图。
附图标记:
清洗设备100;
盛放部1;取放装置2;干燥装置3;气刀31;支撑杆32。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





