[实用新型]清洗设备

权利要求书

1.一种清洗设备，其特征在于，包括：

多个盛放部，多个所述盛放部并排设置且分别盛放有不同的清洗液；

用于取放掩膜板的取放装置，所述取放装置在多个所述盛放部的排列方向上可移动；

干燥装置，在所述取放装置将所述掩膜板从所述盛放部内取出时，所述干燥装置用于干燥所述掩膜板。

2.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述干燥装置包括：气刀。

3.根据权利要求2所述的清洗设备，其特征在于，所述气刀设在所述盛放部上。

4.根据权利要求3所述的清洗设备，其特征在于，每个所述盛放部对应设有两个所述气刀，与每个所述盛放部对应设置的两个所述气刀相对设置。

5.根据权利要求2所述的清洗设备，其特征在于，所述干燥装置还包括支撑杠，所述气刀安装在所述支撑杠上。

6.根据权利要求5所述的清洗设备，其特征在于，所述支撑杠为丝杠，所述支撑杠安装在所述取放装置上且适于带动所述气刀上下移动。

7.根据权利要求6所述的清洗设备，其特征在于，在所述取放装置向上移动以取出所述掩膜板时，所述支撑杠带动所述气刀向下移动以向所述掩膜板吹气。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的清洗设备，其特征在于，所述干燥装置为两个，两个所述干燥装置分别设在所述取放装置的两侧。