[实用新型]检查夹具及具备该检查夹具的检查装置

权利要求书

1.一种检查夹具，安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：

夹具头部；以及

以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，

其中，所述夹具头部包括：

具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；

与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；

将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及

贯穿所述检查侧贯通孔和所述电极侧贯通孔、前端从所述检查侧支承体突出而能够与所述检查对象接触、后端从所述电极侧支承体突出而与所述电极接触的多根探针，

所述检查夹具的特征在于，

所述电极侧支承体由分别形成有贯通孔的多块电极侧支承板层叠而成，所述贯通孔包括小径部和直径大于所述小径部的大径部，多块所述电极侧支承板的多个所述贯通孔构成所述电极侧贯通孔，

多块所述电极侧支承板中，靠所述连接构件一侧的第一电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述连接构件一侧，该小径部在靠所述连接构件一侧具有扩口部，该扩口部的直径随着靠近所述连接构件而逐渐变大。

2.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

多块所述电极侧支承板中，与所述第一电极侧支承板抵接的第二电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述电极安装部一侧，该小径部在靠所述电极安装部一侧具有扩口部，该扩口部的直径随着靠近所述电极安装部而逐渐变大。

3.如权利要求2所述的检查夹具，其特征在于，

所述扩口部的最小直径等于所述小径部的直径，

所述扩口部的最大直径小于所述大径部的直径。

4.如权利要求2所述的检查夹具，其特征在于，

多块所述电极侧支承板中，与所述电极安装部抵接的第三电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述电极安装部一侧，该小径部不具有扩口部。

5.如权利要求4所述的检查夹具，其特征在于，

所述电极侧贯通孔是由分别形成于多块所述电极侧支承板的各所述贯通孔彼此间以沿水平方向逐一偏斜的方式层叠而成的倾斜贯通孔。

6.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查侧支承体由多块检查侧支承板层叠而成。

7.如权利要求6所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查侧贯通孔是倾斜贯通孔。

8.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查对象是电路基板。

9.如权利要求1至8中任一项所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查侧支承体与所述电极侧支承体平行配置，

多根所述探针以相对于所述检查侧支承体和所述电极侧支承体倾斜的方式平行配置。

10.一种检查装置，其特征在于，包括：

权利要求1至9中任一项所述的检查夹具；

移动机构，该移动机构用于使所述检查夹具移动；

搬运机构，该搬运机构用于搬运所述检查对象；

夹持机构，该夹持机构对所述检查对象进行夹持，以使所述检查对象处于能够被检查的状态；

控制部，该控制部对所述移动机构、所述搬运机构和所述夹持机构进行控制；以及

显示部，该显示部显示对所述检查对象进行检查的结果。