[实用新型]晶片旋转显影装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及芯片加工领域，具体涉及一种晶片旋转显影装置。

背景技术

目前在二极管芯片生产的过程中，在曝光后的显影工序一般把晶片放入静止的显影槽中，使用显影液去除未曝光的光阻区域，由于晶片无法与显影液充分接触，可能造成显影不均匀的问题出现。于是出现了提刷的方式，即显影槽中的显影液静止，通过机械作用将晶片反复浸入，使得显影液均匀涂覆在晶片上，从而使得线条清晰，但提刷的方式产生静电，易失火存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种显影效果好、安全性高的晶片旋转显影装置。

本实用新型的技术方案是：包括显影装置本体，所述显影装置本体内设有晶片固定装置，所述晶片固定装置包括驱动块和若干设在驱动块上的晶片固定夹。

所述固定夹固定设在驱动块上，所述驱动块由电机一驱动作顺时针和逆时针旋转。

所述驱动块为水平放置的蜗轮，所述固定夹通过若干啮合在蜗轮周围的蜗杆与蜗轮连接，所述蜗轮由电机二驱动作顺时针和逆时针旋转。

所述固定夹由两根相对设置的、与晶片适配的固定槽构成。

所述固定槽铰接在驱动块上，两根所述固定槽之间设有一根水平的弹簧，晶片放入固定槽中时弹簧处于拉伸状态。

本实用新型的有益效果是：在装置本体内装显影液，将晶片插在固定架上，由电机带动转动，搅动显影液，增加显影液和晶片的接触机会和接触压力，使晶片与显影液充分接触，从而提升显影效果，使显影均匀。所述固定夹由两根相对设置的、与晶片适配的固定槽构成，所述固定槽铰接在驱动块上，两根所述固定槽之间设有一根水平的弹簧，晶片放入固定槽中时弹簧处于拉伸状态，不仅可以有效固定晶片，还可以放置不同尺寸的晶片。本实用新型结构简单，显影效果好，适用范围广。

附图说明

图1是本实用新型的第一种实施方式的结构示意图，

图2是图1的A-A向剖视图，

图3是本实用新型的第二种实施方式的结构示意图，

图4是图3的B-B向剖视图；

图中1是显影装置本体，2是驱动块，3是轴，4是固定槽，5是弹簧，6是蜗杆，7是轴承。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作具体说明。

本实用新型包括显影装置本体1，所述显影装置本体1内设有晶片固定装置，所述晶片固定装置包括驱动块2和若干设在驱动块上的晶片固定夹。所述驱动块2活动连接在固定在所述显影装置本体底部的轴3上，可围绕轴3转动。

所述固定夹由两根相对设置的、与晶片适配的固定槽4构成。所述固定槽4铰接在驱动块2上，两根所述固定槽4之间设有一根水平的弹簧5，晶片放入固定槽中时弹簧4处于拉伸状态，即原始状态时，两根固定槽4之间的距离小于晶片的宽度，通过弹簧4的支撑力来维持平衡，当有晶片要显影时，拨开固定槽，将晶片放入其中，晶片通过弹簧拉伸产生的压力被固定在固定槽4中，不仅可以有效固定晶片，还可以放置不同尺寸的晶片，扩大本实用新型的使用范围。

图1-2是本实用新型的第一种实施方式的结构示意图，所述固定夹固定设在驱动块2上，所述驱动块2由电机一驱动作顺时针和逆时针旋转。固定在固定夹上的晶片围绕轴3作旋转运动，为了使晶片和显影液接触均匀，顺时针和逆时针交互进行。

图3-4是本实用新型的第二种实施方式的结构示意图，所述驱动块2为水平放置的蜗轮，所述固定夹通过若干啮合在蜗轮周围的蜗杆6与蜗轮连接，所述蜗杆6插接在固定于显影装置本体1内壁上的轴承7中，轴承7对蜗杆6起支撑作用，所述蜗轮由电机二驱动作顺时针和逆时针旋转，从而带动蜗杆6作顺时针和逆时针旋转。固定在固定夹上的晶片围绕各自的蜗杆6作旋转运动，为了使晶片和显影液接触均匀，顺时针和逆时针交互进行。

本实用新型在装置本体内装显影液，将晶片插在固定架上，由电机带动转动，搅动显影液，增加显影液和晶片的接触机会和接触压力，使晶片与显影液充分接触，从而提升显影效果，使显影均匀。所述固定夹由两根相对设置的、与晶片适配的固定槽构成，所述固定槽铰接在驱动块上，两根所述固定槽之间设有一根水平的弹簧，晶片放入固定槽中时弹簧处于拉伸状态，不仅可以有效固定晶片，还可以放置不同尺寸的晶片。