[实用新型]晶片旋转显影装置

权利要求书

1.晶片旋转显影装置，包括显影装置本体，所述显影装置本体内设有晶片固定装置，所述晶片固定装置包括驱动块和若干设在驱动块上的晶片固定夹，其特征在于，所述驱动块为水平放置的蜗轮，所述固定夹通过若干啮合在蜗轮周围的蜗杆与蜗轮连接，所述蜗轮由电机二驱动作顺时针和逆时针旋转。

2.根据权利要求1所述的晶片旋转显影装置，其特征在于，所述固定夹由两根相对设置的、与晶片适配的固定槽构成。

3.根据权利要求2所述的晶片旋转显影装置，其特征在于，所述固定槽铰接在驱动块上，两根所述固定槽之间设有一根水平的弹簧，晶片放入固定槽中时弹簧处于拉伸状态。

4.根据权利要求2所述的晶片旋转显影装置，其特征在于，所述固定槽内设有弹性胶条。