[实用新型]一种PECVD炉管清理辅助装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种PECVD炉管清理辅助装置，属于太阳能电池制备设备领域。

背景技术

目前，PECVD炉管管内碎片清理主要是借助于一个类似耙子形状的石英装置，每次清理炉管内的碎片时首先打开炉门然后手动将石英长耙子慢慢的放到炉管内放平整后缓慢将其碎片拉出，以上操作存在三点问题首先此种方式清理不彻底，不能清理炉管内的细小碎片及粉尘，只能清理出体积较大的碎片；其次因炉管内温度较高，人工操作存在一定的安全隐患；第三人工操作容易对炉管内的热电偶及电极等部件造成损害。

发明内容

为解决现有技术存在的问题，本实用新型提供一种管式PECVD炉管清理辅助装置，该装置结构简单，操作方便，能有效的清理炉管内的大小碎片及粉尘和避免人为操作带来的安全隐患。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种PECVD炉管清理辅助装置，包括PEVCD炉，所述PEVCD炉内设置有桨杆，所述桨杆上有石英连接杆，所述石英连接杆为中空管，所述中空管底部安装有中空盘，所述中空盘与中空管连通，所述中空盘顶面上设置有吹气孔，所述吹气孔与中空盘中轴线呈斜角向外倾斜，所述中空盘上方的石英连接杆尾部设置有通气管，所述通气管的另一端与气源连通。

优选的，所述吹气孔与中空盘中轴线的倾斜角度为45度。

优选的，所述吹气孔的数量为六个，规则排列在中空盘顶面上。

优选的，所述石英连接杆的顶端安装有插头，与之对应的，所述桨杆上安装有插销头。

与现有技术相比，本实用新型存在以下有益效果：本实用新型结构简单，操作方便，能有效的清理炉管内的大小碎片及粉尘和避免人为操作带来的安全隐患；使用时只需将此装置的连接杆部位与PECVD炉的桨杆进行对接，然后利用PECVD炉的自动控制桨杆功能，通过桨杆的移动带动本实用新型的移动，同时，通过本实用新型的吹风扫动功能进行自动清理炉管内的碎片，有效的改善炉管的清理效果和避免人为操作带来的安全隐患。

附图说明

为对本实用新型做进一步说明，下面列举附图和具体实施方式。

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型剖面结构示意图。

具体实施方式

如图1-2所示，一种PECVD炉管清理辅助装置，包括PEVCD炉，所述PEVCD炉内设置有桨杆，所述桨杆上有1石英连接杆，所述1石英连接杆为中空管，所述中空管底部安装有2中空盘，所述2中空盘与中空管连通，所述2中空盘顶面上设置有3吹气孔，所述3吹气孔与2中空盘中轴线呈斜角向外倾斜，所述2中空盘上方的1石英连接杆尾部设置有4通气管，所述4通气管的另一端与气源连通。

优选的，所述3吹气孔与2中空盘中轴线的倾斜角度为45度。

优选的，所述3吹气孔的数量为六个，规则排列在2中空盘顶面上。

优选的，所述1石英连接杆的顶端安装有5插头，与之对应的，所述桨杆上安装有插销头。

实际使用时，1石英连接杆通过插头与桨杆的对接，使用PECVD炉的控制程序将桨杆调整到up位置设定位移进入到炉管指定位置，然后设定位移将桨杆移除出，带动本实用新型的在炉管内的移动；在桨杆移动过程中，将气源打开，然后空气通过中空管吹到2中空盘内，然后再通过2中空盘上的3吹风空吹出，实现对碎片的吹扫，由于3吹风孔呈斜角，因此，可有效的将碎片吹出炉管。

以上显示和描述了本实用新型的基本结构和主要特性及本实用新型的优点。对实用新型的具体实施方案进行了描述，但并未对本实用新型保护范围的限制，本行业的技术人员应该了解，上述实施例与说明中描述的只是本实用新型基本结构，不脱离实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求及其等效物界定。