[实用新型]一种PECVD炉管清理辅助装置有效
| 申请号： | 201720406516.5 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN206676857U | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 曹增辉 | 申请（专利权）人： | 润峰电力有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B9/043 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 炉管 清理 辅助 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种PECVD炉管清理辅助装置，包括PEVCD炉，所述PEVCD炉内设置有桨杆，其特征在于所述桨杆上有石英连接杆，所述石英连接杆为中空管，所述中空管底部安装有中空盘，所述中空盘与中空管连通，所述中空盘顶面上设置有吹气孔，所述吹气孔与中空盘中轴线呈斜角向外倾斜，所述中空盘上方的石英连接杆尾部设置有通气管，所述通气管的另一端与气源连通。
2.根据权利要求1所述的一种PECVD炉管清理辅助装置，其特征在于所述吹气孔与中空盘中轴线的倾斜角度为45度。
3.根据权利要求1或2所述的一种PECVD炉管清理辅助装置，其特征在于所述吹气孔的数量为六个，规则排列在中空盘顶面上。
4.根据权利要求1所述的一种PECVD炉管清理辅助装置，其特征在于所述石英连接杆的顶端安装有插头，与之对应的，所述桨杆上安装有插销头。
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