[实用新型]一种大批量硅片移动装置

权利要求书

1.一种大批量硅片移动装置，其特征在于，包括：

中空结构的主支架(1)；

用于固定硅片的多个中空结构的副支架(2)，所述副支架(2)连接于所述主支架(1)，且所述副支架(2)的内部与所述主支架(1)的内部连通；及

抽真空装置，所述抽真空装置连接于所述主支架(1)，且所述抽真空装置连通所述主支架(1)的内部。

2.根据权利要求1所述的大批量硅片移动装置，其特征在于，所述主支架(1)包括提取部(11)及连接于所述提取部(11)的横梁(12)；

所述副支架(2)等间距连接于所述横梁(12)上；

所述副支架(2)的内部与所述横梁(12)的内部连通，所述横梁(12)的内部与所述主支架(1)的内部连通。

3.根据权利要求2所述的大批量硅片移动装置，其特征在于，相邻两个所述副支架(2)在所述横梁(12)上的投影沿所述横梁(12)长度方向的距离不大于相邻两个硅片之间的距离；

所述副支架(2)与所述硅片一一对应设置。

4.根据权利要求2所述的大批量硅片移动装置，其特征在于，所述提取部(11)为倒“凵”形结构，所述提取部(11)包括第一横杆(111)和分别连接于所述第一横杆(111)两端的第一竖杆(112)，两个所述第一竖杆(112)均连接于所述横梁(12)；

所述述第一横杆(111)的内部与所述第一竖杆(112)的内部连通，所述第一竖杆(112)的内部与所述横梁(12)的内部连通。

5.根据权利要求2所述的大批量硅片移动装置，其特征在于，所述副支架(2)为倒“凵”形结构，所述副支架(2)包括第二横杆(21)和分别连接于所述第二横杆(21)两端的第二竖杆(22)，所述第二横杆(21)连接于所述横梁(12)；

两个所述第二竖杆(22)轴对称地设置于所述横梁(12)的两侧；

所述第二横杆(21)的内部与所述横梁(12)的内部连通，所述第二竖杆(22)的内部与所述第二横杆(21)的内部连通。

6.根据权利要求5所述的大批量硅片移动装置，其特征在于，所述第二竖杆(22)的端部设有真空吸盘(3)。

7.根据权利要求6所述的大批量硅片移动装置，其特征在于，还包括连接于所述第一横杆(111)的中空结构的手柄(4)，用于配合所述真空吸盘(3)吸附或脱离硅片。

8.根据权利要求7所述的大批量硅片移动装置，其特征在于，所述手柄(4)的一端与所述第一横杆(111)连接，所述手柄(4)的另一端悬空设置并设置有垫片(6)，

所述第一横杆(111)上设有与所述垫片(6)对应的开孔(7)，

当所述手柄(4)的悬空的端部靠近所述第一横杆(111)时，所述垫片(6)堵住所述开孔(7)，以实现所述真空吸盘(3)吸附所述硅片；

当所述手柄(4)的悬空的端部远离所述第一横杆(111)时，所述垫片(6)放开所述开孔(7)，以实现所述真空吸盘(3)松开所述硅片。

9.根据权利要求8所述的大批量硅片移动装置，其特征在于，所述手柄(4)的中部与所述第一横杆(111)之间连接有弹性装置(5)。

10.根据权利要求9所述的大批量硅片移动装置，其特征在于，所述弹性装置(5)为弹簧。