[实用新型]一种硅片运输装置有效
申请号: | 201720399083.5 | 申请日: | 2017-04-17 |
公开(公告)号: | CN207116390U | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | 侯玉;韩少鹏;张春华;衡阳;李琰琪;王钰雅;郑旭然;邢国强 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 张海英,林波 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 运输 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种硅片运输装置。
背景技术
常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池,可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。太阳能发电装置的核心是电池片,目前绝大多数都采用硅片制成。
现有技术中,晶体硅太阳能电池的制备工艺主要包括:清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印刷、烧结、电池片测试。其中,花篮是各工序之间电池片传递的重要工具,起到关键性的连接作用。在电池片生产过程中,从制绒开始便严格区分PN面,扩散在N面,刻蚀处理P面,PECVD在N面,丝网印刷先P面印铝浆而后N面印栅线;由此可以看出,在整个电池片生产过程中,必须严格区分P、N面,一旦某个工序出现颠倒,会导致整个电池片报废。因此,区分P、N面在电池制作过程中,起到决定性作用。
目前车间使用的花篮有两种,其中一种为100pcs的花篮,主要用于制绒,扩散,刻蚀,PECVD工序,另一种为50pcs的花篮,主要用于丝网印刷。在使用时,采用同一种小推车运输花篮,而花篮放在推车上时,由于小车无P、N面区别,在多道工序之间转换取放时,因批量操作难免发生错 误使得P、N面颠倒,并且工人区分P、N面也需要一定时间,因而在使用过程中费时费力,且容易发生P、N面混淆而导致硅片报废。另外,花篮之间无防碰撞设计,推车无减震装置,也给电池片运输造成极大的隐患。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种硅片运输装置,能够很好地区别硅片的P、N面,进而避免在多道工序之间转换取放时使P、N面颠倒,降低硅片报废率。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种硅片运输装置,包括车架,所述车架沿着竖直方向间隔设置有多层用于放置装硅片的花篮的底板,所述底板的一组相对设置的侧边分别设置有竖直向上延伸的边缘挡板框,所述底板的中部设置有竖直向上延伸的中间挡板框,所述中间挡板框与每一所述边缘挡板框之间均形成卡放花篮的空间,每个所述空间对应的所述中间挡板框的一侧面和所述边缘挡板框分别设置有配合所述花篮的P面结构的P面挡板和配合所述花篮的N面结构的N面挡板,位于所述边缘挡板框的所述P面挡板和/或所述N面挡板的一端均与所述边缘挡板框为可活动连接。
作为一种优选,所述中间挡板框和每一所述边缘挡板框之间均设置有与所述中间挡板框相交的多个隔板,多个所述隔板平行间隔设置,以将每个所述空间分隔为所述花篮进出的多个通道,每个所述通道的两端分别设置有一所述P面挡板和一所述N面挡板。
作为一种优选,两个所述边缘挡板框分别为第一边缘挡板框和第二边缘挡板框,
所述第一边缘挡板框的第一开口处可拆卸安装有所述P面挡板,所述第二边缘挡板框的第二开口处可拆卸安装有所述N面挡板,所述中间挡板框的对应所述第一边缘挡板框的一侧面一体式形成有所述N面挡板,所述中间挡板框的对应所述第二边缘挡板框的另一侧面一体式形成有所述P面挡板;或
所述第一边缘挡板框的第一开口处可拆卸安装有所述N面挡板,所述第二边缘挡板框的第二开口处可拆卸安装有所述P面挡板,所述中间挡板框的对应所述第一边缘挡板框的一侧面一体式形成有所述P面挡板,所述中间挡板框的对应所述第二边缘挡板框的另一侧面一体式形成有所述N面挡板;或
所述第一边缘挡板框的第一开口处和所述第二边缘挡板框的第二开口处均可拆卸安装有所述P面挡板,所述中间挡板框的两侧面均一体式形成有所述N面挡板;或
所述第一边缘挡板框的第一开口处和所述第二边缘挡板框的第二开口处均可拆卸安装有所述N面挡板,所述中间挡板框的两侧面均一体式形成有所述P面挡板。
作为一种优选,所述花篮的所述P面结构包括回字型的P面结构本体,所述P面结构本体的两个侧边和底边均开设有第一定位孔,顶边开设有半圆形的第二定位孔;
对应的,所述P面挡板包括回字型的P面挡板本体,所述P面挡板本体的其中两个侧边和底边均朝向所述空间内部延伸有第一凸起,顶边朝向所述空间内部延伸有半圆形的第二凸起;
所述第一凸起对应于所述第一定位孔,所述第二凸起对应于所述第二定位孔。
作为一种优选,所述花篮的所述N面结构包括U型的N面结构本体, 所述N面结构本体的两个侧边和底边均开设有第三定位孔,顶部开口;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造