[实用新型]一种硅片运输装置有效
申请号: | 201720399082.0 | 申请日: | 2017-04-17 |
公开(公告)号: | CN206742264U | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 侯玉;张春华;衡阳;韩少鹏;王海翔;程佳;杨金鑫;王钰雅;郑旭然;邢国强 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 张海英,林波 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 运输 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种硅片运输装置。
背景技术
常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池,可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。太阳能发电装置的核心是电池片,目前绝大多数都采用硅片制成。
现有技术中,晶体硅太阳能电池的制备工艺主要包括:清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印刷、烧结、电池片测试。其中,花篮是各工序之间电池片传递的重要工具,起到关键性的连接作用。在电池片生产过程中,从制绒开始便严格区分PN面,扩散在N面,刻蚀处理P面,PECVD在N面,丝网印刷先P面印铝浆而后N面印栅线;由此可以看出,在整个电池片生产过程中,必须严格区分P、N面,一旦某个工序出现颠倒,会导致整个电池片报废。因此,区分P、N面在电池制作过程中,起到决定性作用。
目前车间使用的花篮有两种,其中一种为100pcs的花篮,主要用于制绒,扩散,刻蚀,PECVD工序,另一种为50pcs的花篮,主要用于丝网印刷。在使用时,采用同一种小推车运输花篮,而花篮放在推车上时,由于小车无P、N面区别,在多道工序之间转换取放时,因批量操作难免发生错误使得P、N面颠倒,并且工人区分P、N面也需要一定时间,因而在使用过程中费时费力,且容易发生P、N面混淆而导致硅片报废。另外,花篮之间无防碰撞设计,推车无减震装置,也给电池片运输造成极大的隐患。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种硅片运输装置,能够很好地区别硅片的P、N面,进而避免在多道工序之间转换取放时使P、N面颠倒,同时也能更好地固定花篮,降低硅片报废率。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种硅片运输装置,包括车架,所述车架沿着竖直方向间隔设置有多层用于放置装硅片的花篮的底板,所述底板上设置有多个隔板,多个所述隔板平行间隔设置,相邻两个所述隔板之间形成所述花篮进出的通道,在每个所述通道的两端分别设置有配合所述花篮的P面结构的P面挡板和配合所述花篮的N面结构的N面挡板,所述P面挡板和所述N面挡板中的一个相对于所述隔板固定设置以闭合所述通道的一端,另一个相对于所述隔板可活动以打开所述通道的另一端。
作为一种优选,所述底板上设置有第一挡板框,所述第一挡板框位于所述通道的一端,所述第一挡板框的多个第一开口与多个所述通道一一对应,每个所述第一开口处可拆卸设置有一个所述P面挡板。
作为一种优选,所述P面挡板与所述第一挡板框通过螺钉连接。
作为一种优选,所述底板上设置有第二挡板框,所述第二挡板框位于所述通道的另一端,所述第二挡板框的多个第二开口与多个所述通道一一对应,每个所述第二开口处可拆卸设置有一个所述N面挡板。
作为一种优选,所述N面挡板的一侧边与所述第二挡板框的对应侧边铰接连接。
作为一种优选,所述花篮的所述P面结构包括U型的P面结构本体,所述P面结构本体包括:
两个沿着竖直方向向上延伸的第三侧壁,两个所述第三侧壁的侧面分别开设有第一定位孔;和
连接两个所述第三侧壁的底端的P面结构底边,所述P面结构底边与两个所述第三侧壁围成P面结构空间,所述P面结构空间设置有连接于所述P面结构底边并沿着竖直方向向上延伸的第四凸起;
对应的,所述P面挡板包括U型的P面挡板本体,所述P面挡板本体包括:
两个沿着竖直方向向上延伸的第一侧壁,两个所述第一侧壁的朝向所述通道的侧面分别设置有朝向所述通道凸起的第一凸起;和
连接两个所述第一侧壁的底端的P面挡板底边,所述P面挡板底边与两个所述第一侧壁围成P面挡板空间;
所述第一凸起对应于所述第一定位孔,所述P面挡板空间对应所述第四凸起。
作为一种优选,所述花篮的所述N面结构包括U型的N面结构本体,所述N面结构本体包括:
两个沿着竖直方向向上延伸的第四侧壁,两个所述第四侧壁的侧面分别开设有第二定位孔;和
连接两个所述第四侧壁的底端的N面结构底边,所述N面结构底边与两个所述第四侧壁围成N面结构空间;
对应的,所述N面挡板包括U型的N面挡板本体,所述N面挡板本体包括:
两个沿着竖直方向向上延伸的第二侧壁,两个所述第二侧壁的朝向所述通道的侧面分别设置有朝向所述通道凸起的第二凸起;和
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的