[实用新型]一种硅片运输装置

权利要求书

1.一种硅片运输装置，包括车架，其特征在于，所述车架沿着竖直方向间隔设置有多层用于放置装硅片的花篮的底板，所述底板上设置有多个隔板，多个所述隔板平行间隔设置，相邻两个所述隔板之间形成所述花篮进出的通道，在每个所述通道的两端分别设置有配合所述花篮的P面结构的P面挡板和配合所述花篮的N面结构的N面挡板，所述P面挡板和所述N面挡板中的一个相对于所述隔板固定设置以闭合所述通道的一端，另一个相对于所述隔板可活动以打开所述通道的另一端。

2.根据权利要求1所述的硅片运输装置，其特征在于，所述底板上设置有第一挡板框，所述第一挡板框位于所述通道的一端，所述第一挡板框的多个第一开口与多个所述通道一一对应，每个所述第一开口处可拆卸设置有一个所述P面挡板。

3.根据权利要求2所述的硅片运输装置，其特征在于，所述P面挡板与所述第一挡板框通过螺钉连接。

4.根据权利要求1所述的硅片运输装置，其特征在于，所述底板上设置有第二挡板框，所述第二挡板框位于所述通道的另一端，所述第二挡板框的多个第二开口与多个所述通道一一对应，每个所述第二开口处可拆卸设置有一个所述N面挡板。

5.根据权利要求4所述的硅片运输装置，其特征在于，所述N面挡板的一侧边与所述第二挡板框的对应侧边铰接连接。

6.根据权利要求1-5任一项所述的硅片运输装置，其特征在于，所述花篮的所述P面结构包括U型的P面结构本体，所述P面结构本体包括：

两个沿着竖直方向向上延伸的第三侧壁，两个所述第三侧壁的侧面分别开设有第一定位孔；和

连接两个所述第三侧壁的底端的P面结构底边，所述P面结构底边与两个所述第三侧壁围成P面结构空间，所述P面结构空间设置有连接于所述P面结构底边并沿着竖直方向向上延伸的第四凸起；

对应的，所述P面挡板包括U型的P面挡板本体，所述P面挡板本体包括：

两个沿着竖直方向向上延伸的第一侧壁，两个所述第一侧壁的朝向所述通道的侧面分别设置有朝向所述通道凸起的第一凸起；和

连接两个所述第一侧壁的底端的P面挡板底边，所述P面挡板底边与两个所述第一侧壁围成P面挡板空间；

所述第一凸起对应于所述第一定位孔，所述P面挡板空间对应所述第四凸起。

7.根据权利要求1-5任一项所述的硅片运输装置，其特征在于，所述花篮的所述N面结构包括U型的N面结构本体，所述N面结构本体包括：

两个沿着竖直方向向上延伸的第四侧壁，两个所述第四侧壁的侧面分别开设有第二定位孔；和

连接两个所述第四侧壁的底端的N面结构底边，所述N面结构底边与两个所述第四侧壁围成N面结构空间；

对应的，所述N面挡板包括U型的N面挡板本体，所述N面挡板本体包括：

两个沿着竖直方向向上延伸的第二侧壁，两个所述第二侧壁的朝向所述通道的侧面分别设置有朝向所述通道凸起的第二凸起；和

连接两个所述第二侧壁的底端的N面挡板底边，所述N面挡板底边与两个所述第二侧壁围成N面挡板空间，所述N面挡板空间设置有连接于所述N面挡板底边并沿着竖直方向向上延伸的第三凸起，所述第三凸起朝向所述通道的方向凸出于所述N面挡板底边的侧面设置；

所述第二凸起对应于所述第二定位孔，所述第三凸起对应所述N面结构空间。

8.根据权利要求1-5任一项所述的硅片运输装置，其特征在于，每个所述底板的上方对应设置有盖板，所述盖板盖设于所述隔板的顶部，以盖住该底板上的所述通道。

9.根据权利要求1-5任一项所述的硅片运输装置，其特征在于，位于底层的所述底板为倾斜设置，以使所述通道的用于所述花篮进入的端部所处高度高于另一端部所处高度。

10.根据权利要求1-5任一项所述的硅片运输装置，其特征在于，所述车架的前侧设置有把手，所述车架的底部设置有滚轮。