[实用新型]一种波长测量系统有效
申请号: | 201720398037.3 | 申请日: | 2017-04-17 |
公开(公告)号: | CN207007348U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 张特旭;刘承香 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司11319 | 代理人: | 赵娟 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 波长 测量 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及激光技术领域,特别是涉及一种波长测量系统。
背景技术
在光通讯领域发射机光源的生产环节中,从晶圆生长,芯片的切割、封装,元器件的耦合、封装、再到模块的组装,中间经过了数十道复杂的工序,每一个工序都需要大量的波长测量操作。如果光源为可调谐激光器,相比于固定波长激光器,波长测试的工作量更是成倍地增加,为找出激光器的工作点,需要测量波长的测试次数将多达几万甚至数十万次。
基于发射机光源生产中大量的波长测量需求,采用常规的光谱分析仪或波长计来测量会带来巨大的时间成本和设备价格成本。本实用新型提供一种波长测量系统,用以解决波长测试的成本问题,实现快速、精准、低成本地测量激光波长。
实用新型内容
鉴于上述问题,提出了本实用新型实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种波长测量系统。
为了解决上述问题,本实用新型实施例公开了一种波长测量系统,包括:
分光模块、双法布里-玻罗干涉标准具模块、线性滤波器、第一光电探测器以及第二光电探测器;
所述分光模块用于将输入的待测激光分成多路,并分别输入到所述线性滤波器、所述第一光电探测器和所述双法布里-玻罗干涉标准具模块;
入射到所述线性滤波器的激光输出到所述第二光电探测器;
所述第一光电探测器测量的光电流和所述第二光电探测器测量的光电流用于计算激光通过线性滤波器的透射率,用以测量初步波长;
所述双法布里-玻罗干涉标准具模块用于测量多个精确波长,所述多个精确波长与所述初步波长用于确定所述待测激光的波长。
优选的,所述双法布里-玻罗干涉标准具模块包括:第一分光镜、第二分光镜、第一法布里-玻罗干涉标准具、第二法布里-玻罗干涉标准具、第三光电探测器、第四光电探测器、第五光电探测器、第六光电探测器;
入射到所述双法布里-玻罗干涉标准具模块的激光经过所述第一分光镜后,一部分激光被反射进入所述第一法布里-玻罗干涉标准具,另一部分透过所述第一分光镜进入所述第二分光镜;
入射到所述第一法布里-玻罗干涉标准具的激光输出到所述第三光电探测器;
入射到所述第二分光镜的激光,一部分被反射进入所述第二法布里-玻罗干涉标准具,另一部分透过所述第二分光镜输出到所述第四光电探测器;
入射到所述第二法布里-玻罗干涉标准具的激光,一部分通过所述第二法布里-玻罗干涉标准具进入所述第五光电探测器;另一部分被所述第二法布里-玻罗干涉标准具反射,再次进入所述第二分光镜;
由所述第二法布里-玻罗干涉标准具反射进入所述第二分光镜的激光,一部分透过所述第二反光镜进入所述第六光电探测器;
所述第三光电探测器测量的光电流和所述第四光电探测器测量的光电流用于计算激光通过所述第一法布里-玻罗干涉标准具的透射率,用以确定多个第一精确波长;
所述第五光电探测器测量的光电流和所述第六光电探测器测量的光电流用于计算激光通过所述第二法布里-玻罗干涉标准具的透射率,用以确定多个第二精确波长;
所述多个第一精确波长、所述多个第二精确波长,与所述初步波长用于确定所述待测激光的波长。
优选的,所述分光模块包括:1X4分光器、光耦合器、平面光波导式的分光器件。
优选的,所述第一法布里-玻罗干涉标准具和所述第二法布里-玻罗干涉标准具的透射率谱线的频率周期相同。
优选的,所述第一法布里-玻罗干涉标准具和所述第二法布里-玻罗干涉标准具的透射率谱线的频率周期,小于所述线性滤波器的频率误差范围。
优选的,所述第一法布里-玻罗干涉标准具和所述第二法布里-玻罗干涉标准具之间的透射率谱线的最大值点的位置错开四分之一个频率周期。
优选的,所述分光模块、所述双法布里-玻罗干涉标准具模块、所述线性滤波器、所述第一光电探测器以及所述第二光电探测器为光纤器件;
所述分光模块与所述线性滤波器通过光纤连接器连接;
所述线性滤波器与所述第二光电探测器通过光纤连接器连接;
所述分光模块与所述第一光电探测器通过光纤连接器连接;
所述分光模块与所述双法布里-玻罗干涉标准具模块通过光纤连接器连接。
优选的,所述双法布里-玻罗干涉标准具模块还包括光纤准直器,所述光纤准直器用于将光纤连接器输出的入射光转换为准直光。
本实用新型实施例包括以下优点:
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