[实用新型]冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示器制备技术领域，尤其涉及一种冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备。

背景技术

喷出刀是液晶面板生产领域一种较为常用的功能性硬件，具有干燥、润洗、防逆流等作用，特别是湿法刻蚀设备应用最为广泛。喷出刀根据其功能分为液体喷出刀、气体喷出刀。

以湿法刻蚀设备为例，目前设备分别在工艺区间安装液体喷出刀及气体喷出刀，在快速清洗区间安装液体喷出刀，出口处安装气体喷出刀，在最后一道的清洗工艺的出口处安装气体喷出刀。其中气体喷出刀、液体喷出刀的结构设计分别如图1和图2所示，喷出刀01仅具有一个狭缝出口011，当需要调节喷出刀距离基板的距离、倾斜度时，需要在狭小的腔室内对整个喷出刀进行调整作业，过程复杂，耗费人力，喷出刀一般通过螺钉012固定与操作本体上，当需要改变狭缝出口大小时，需要更换新的喷出刀，拆卸安装较麻烦，当狭缝出口堵塞时，需要将整个设备停止工作进行清理。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备，用以简化结构，可以提高作业效率。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

本实用新型提供了一种冲洗喷出装置，包括：

内部中空的第一本体，所述第一本体上设有一个第一通槽；

外套于所述第一本体外的第二本体，所述第二本体上设有至少两个可将所述第一本体的内部和所述第二本体的内部连通的第二通槽，所述第二本体可相对所述第一本体转动以使所述第一通槽与一所述第二通槽连通；

与所述第一本体的内部连通、为所述第一本体的内部提供液体或气体的供给管路。

本实用新型提供了一种冲洗喷出装置，通过在第二本体上设置至少两个第二通槽，当一个通槽堵塞时，便于调整到另一通槽，当所有第二通槽均堵塞时，可以仅仅更换第二本体即可，不需要整体更换冲洗喷出装置。本实用新型提供的冲洗喷出装置，在使用时，通过供液管路给第一本体内部通入液体或气体，旋转第二本体，使得第一本体上的第一通槽与第二通槽连通，液体或气体便可以从第二通槽内喷出，若用一段时间后，第二通槽堵塞，可以再次旋转第二本体，使得第一本体上的第一通槽与另外的第二通槽连通。

故，本实用新型提供的冲洗喷出装置，结构较简单，具有较好的作业效率，可以减少显示产品不良现象的发生。

在一些可选的实施方式中，冲洗喷出装置还包括：外套于所述第二本体外的第三本体，所述第三本体设有与所述第一通槽朝向相同的第三通槽。第三本体的设置一方面可以保护第二本体，一方面又防止第一本体内的液体或气体泄漏。

在一些可选的实施方式中，每个所述第二通槽大小不同。将第二通槽设置的大小不同，便于调节冲洗喷出装置喷出量的大小，使得冲洗喷出装置可以使用于制备各种尺寸的显示装置。

在一些可选的实施方式中，所述第二通槽的个数为四个，且四个所述第二通槽的大小均不同。

在一些可选的实施方式中，所述第一通槽在所述第一本体靠近所述第二本体的一侧的开口等于每个所述第二通槽在所述第二本体靠近所述第一本体的一侧的开口。减少冲洗喷出装置内液体或气体泄漏现象的发生。

在一些可选的实施方式中，所述第一通槽和每个所述第二通槽为三角形通槽或梯形通槽。

在一些可选的实施方式中，冲洗喷出装置，还包括：

驱动所述第二本体旋转的驱动单元；

用于检测所述第二通槽所受压力的传感器；

与所述传感器和所述驱动单元信号连接的控制器，当所述传感器检测到的压力值大于预先设定的压力值时，控制所述驱动单元驱动所述第二本体旋转以更换与所述第一通槽连通的第二通槽。便于实现冲洗喷出装置自动控制，提高制备成品率。

在一些可选的实施方式中，所述第一本体、所述第二本体、所述第三本体同轴设置。

在一些可选的实施方式中，所述第一本体的端面和所述第二本体的端面均为圆形，所述第三本体的端面为圆弧形。

在一些可选的实施方式中，所述第二本体的两端均设有密封盖，每个所述密封盖上设有允许所述供给管路的一端伸入所述第一本体的内部的开口。密封盖的设置可以进一步防减少冲洗喷出装置内气体或液体泄漏现象的发生。

本实用新型还提供了一种湿法刻蚀设备，包括上述任一项所述的冲洗喷出装置。由于上述冲洗喷出装置可以简化结构，可以提高作业效率。故本实用新型提供的湿法刻蚀设备，具有较好的实用性。

附图说明

图1为现有技术中的液体喷出刀的一种结构示意图；

图2为现有技术中的液体喷出刀的另一种结构示意图；