[实用新型]冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备

权利要求书

1.一种冲洗喷出装置，其特征在于，包括：

内部中空的第一本体，所述第一本体上设有一个第一通槽；

外套于所述第一本体外的第二本体，所述第二本体上设有至少两个可将所述第一本体的内部和所述第二本体的内部连通的第二通槽，所述第二本体可相对所述第一本体转动以使所述第一通槽与一所述第二通槽连通；

与所述第一本体的内部连通、为所述第一本体的内部提供液体或气体的供给管路。

2.根据权利要求1所述的冲洗喷出装置，其特征在于，还包括：外套于所述第二本体外的第三本体，所述第三本体设有与所述第一通槽朝向相同的第三通槽。

3.根据权利要求1所述的冲洗喷出装置，其特征在于，每个所述第二通槽大小不同。

4.根据权利要求3所述的冲洗喷出装置，其特征在于，所述第二通槽的个数为四个，且四个所述第二通槽的大小均不同。

5.根据权利要求1所述的冲洗喷出装置，其特征在于，所述第一通槽在所述第一本体靠近所述第二本体的一侧的开口等于每个所述第二通槽在所述第二本体靠近所述第一本体的一侧的开口。

6.根据权利要求1所述的冲洗喷出装置，其特征在于，所述第一通槽和每个所述第二通槽为三角形通槽或梯形通槽。

7.根据权利要求1所述的冲洗喷出装置，其特征在于，还包括：

驱动所述第二本体旋转的驱动单元；

用于检测所述第二通槽所受压力的传感器；

与所述传感器和所述驱动单元信号连接的控制器，当所述传感器检测到的压力值大于预先设定的压力值时，控制所述驱动单元驱动所述第二本体旋转以更换与所述第一通槽连通的第二通槽。

8.根据权利要求2～7任一项所述的冲洗喷出装置，其特征在于，所述第一本体、所述第二本体、所述第三本体同轴设置。

9.根据权利要求8所述的冲洗喷出装置，其特征在于，所述第一本体的端面和所述第二本体的端面均为圆形，所述第三本体的端面为圆弧形。

10.根据权利要求9所述的冲洗喷出装置，其特征在于，所述第二本体的两端均设有密封盖，每个所述密封盖上设有允许所述供给管路的一端伸入所述第一本体的内部的开口。

11.一种湿法刻蚀设备，其特征在于，包括如权利要求1～10任一项所述的冲洗喷出装置。