[实用新型]一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统，属于信号检测设计技术领域。

背景技术

目前，半导体制程设备中，由于晶圆制造或运送之前上位机需要检测晶圆盒中晶片的片数及位置是否正确，所以半导体设备上一般都安装有红外传感器进行检测，而红外传感器检测到的信息无法直接被上位机识别，因此红外传感器检测到的信号还需经过处理才能产生上位机所能识别的信号，并同步传递给上位机。随着社会的发展，设备对红外传感器信号的检测控制要求也逐渐提高;由于模拟电路复杂，信号不易控制且容易引入噪声，因此如何提高同步信号检测装置的性能并更好的应用在设备中就成为了电路设计工作者需要面对的难题。

发明内容

本实用新型提供一种的稳定可靠、功耗低、噪声低、灵敏度高的基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统，以解决上述背景技术提出的问题；

一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统，它包括晶圆装载腔体、驱动电机、晶圆盒、红外发射器、红外接收器、前置放大电路、模拟转换开关电路、同步时序发生电路、同步驱动控制电路、输出放大电路；其特征在于所述的红外发射器分别与同步驱动控制电路和红外接收器相连；所述的前置放大电路分别与模拟转换开关电路和红外接收器相连；所述的同步时序发生电路分别与模拟转换开关电路和同步驱动控制电路相连；所述的模拟转换开关分别与前置放大电路、同步驱动控制电路、同步时序发生电路、输出放大电路相连；

还包括所述的模拟转换开关电路包含有HEF4053BP模拟开关控制芯片；

还包括所述的同步驱动控制电路中包含有SN74HCT74N逻辑控制芯片；

还包括所述的同步时序发生电路中包含一个有型号为RD55D 2003F的电阻，阻值为200KΩ和一个0.001uf、精度为+/-10%的电容；

与现有技术相比，本实用新型采用HEF4053BP模拟开关控制芯片来对信号进行传输控制，使系统更易于对信号进行控制传输。系统经测试证实其具有稳定可靠、功耗低、噪声低、灵敏度高的特点。

附图说明

图1为本实用新型的系统原理框图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明；

如图1所示一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统，它包括晶圆装载腔体1、驱动电机2、晶圆盒3、红外发射器4、红外接收器5、前置放大电路、模拟转换开关电路、同步时序发生电路、同步驱动控制电路、输出放大电路；其特征在于所述的红外发射器4分别与同步驱动控制电路和红外接收器5相连；所述的前置放大电路分别与模拟转换开关电路和红外接收器5相连；所述的同步时序发生电路分别与模拟转换开关电路和同步驱动控制电路相连；所述的模拟转换开关分别与前置放大电路、同步驱动控制电路、同步时序发生电路、输出放大电路相连；

还包括所述的模拟转换开关电路包含有HEF4053BP模拟开关控制芯片；

还包括所述的同步驱动控制电路中包含有SN74HCT74N逻辑控制芯片；

还包括所述的同步时序发生电路中包含一个有型号为RD55D 2003F的电阻，阻值为200KΩ和一个0.001uf、精度为+/-10%的电容；

本实用新型工作原理是：

系统上电后，同步时序发生电路将同步信号分别传递给同步驱动控制电路和模拟转换开关电路，使同步驱动控制电路根据时序驱动红外发射器4工作。同时晶圆盒3摆放到晶圆装载腔体1内后，驱动电机2带动晶圆在腔体内垂直运动，使得晶圆盒3内的每片晶片依次经过红外发射器所辐射的区域，从而引起红外接收器5所接收的光电信号发生变化。红外接收器5在接收到信号后，将信号传送给前置放大电路处理后，再传递到模拟转换开关电路。模拟转换开关电路在同步驱动控制电路和同步时序发生电路的共同的作用下将前置放大电路输出的信号传递给输出放大电路，从而实现对晶圆片数同步信号的检测。