[实用新型]一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统

权利要求书

1.一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统，它包括晶圆装载腔体、驱动电机、晶圆盒、红外发射器、红外接收器、前置放大电路、模拟转换开关电路、同步时序发生电路、同步驱动控制电路、输出放大电路；其特征在于所述的红外发射器分别与同步驱动控制电路和红外接收器相连；所述的前置放大电路分别与模拟转换开关电路和红外接收器相连；所述的同步时序发生电路分别与模拟转换开关电路和同步驱动控制电路相连；所述的模拟转换开关分别与前置放大电路、同步驱动控制电路、同步时序发生电路、输出放大电路相连。

2.根据权利要求1所述的一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统其特征在于：还包括所述的模拟转换开关电路包含有HEF4053BP模拟开关控制芯片。

3.根据权利要求1所述的一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统其特征在于：还包括所述的同步驱动控制电路中包含有SN74HCT74N逻辑控制芯片。

4.根据权利要求1所述的一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统其特征在于：还包括所述的同步时序发生电路中包含一个有型号为RD55D 2003F的电阻，阻值为200KΩ和一个0.001uf、精度为+/-10%的电容。