[实用新型]一种多晶铸锭用坩埚有效
申请号: | 201720344854.0 | 申请日: | 2017-04-01 |
公开(公告)号: | CN207227589U | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 徐文静;李航;姚祥侠;陈礼平 | 申请(专利权)人: | 江西中昱新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 334000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 坩埚 | ||
【权利要求书】:
1.一种多晶铸锭用坩埚,其特征在于,包括:坩埚本体,所述坩埚本体的内壁表层具有范围为10μm至20μm的粗糙度;
所述坩埚本体的内壁表层上层叠设置有高纯涂层和氮化硅层;所述高纯涂层包括石英砂。
2.如权利要求1所述的多晶铸锭用坩埚,其特征在于,所述粗糙度为15μm。
3.如权利要求1所述的多晶铸锭用坩埚,其特征在于,所述高纯涂层的厚度为0.3mm至0.5mm。
4.如权利要求1所述的多晶铸锭用坩埚,其特征在于,所述氮化硅层的厚度为0.1mm至0.2mm。
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