[实用新型]一种探针取放工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种探针取放工具。

背景技术

在半导体芯片的生产和研制过程中，需要对芯片的各项参数进行过程测试和终端测试，完成测试所需的测试对准设备主要是探针台，在半导体芯片生产检验过程中，需要将探针准确对准测试区域以对芯片参数进行随机抽取少量不连续测试点进行抽样测试。

目前，市面上所有探针类型的机台取放探针都需要手动进行，操作者不同，每个人的手法、手感也各不相同，而探针的掉落或针尖的损坏使得探针的利用率很低。最细的探针针尖只有8-10nm，需要用镊子取针并反向放入针盒更换探针全程都是手动操作，因此对操作者的要求非常高。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种能快速准确本实用新型采用如下技术方案：

一种探针取放工具，包括：

抽真空装置；

第一面板，所述第一面板具有一第一预定厚度，所述第一面板上设有第一盲孔和第二盲孔，所述第一盲孔的底部和所述第二盲孔的底部连通，定义所述第一面板与所述第二面板折叠后相向的面为第一正面，定义所述第一面板与第二面板非铰链的面为第一侧面，所述第一盲孔的开口端设置于所述第一正面，所述第二盲孔的开口端设置于所述第一侧面；

所述第二面板，所述第二面板具有一第二预定厚度，所述第二面板上设有第三盲孔和第四盲孔，所述第三盲孔的底部和所述第四盲孔的底部连通，定义所述第二面板与所述第一面板折叠后相向的面为第二正面，定义所述第二面板与所述第一面板非铰链的面为第二侧面，所述第三盲孔的开口端设置于所述第二正面，所述第四盲孔的开口端设置于所述第二侧面；

第一真空软管，所述第一真空软管的一端连接所述第二盲孔的开口端，另一端连接所述抽真空装置，所述第一真空软管上设有第一限流阀；

第二真空软管，所述第二真空软管的一端连接所述第四盲孔的开口端，另一端连接所述抽真空装置，所述第二真空软管上设有第二限流阀。

优选的，所述探针取放工具还包括

三通阀，所述第一真空软管和所述第二真空软管通过所述三通阀连接所述抽真空装置，所述三通阀设置于所述抽真空装置和所述第一限流阀以及所述抽真空装置和所述第二限流阀之间。

优选的，所述第二盲孔与所述第一真空软管的连接处设有第一管状引脚，所述第四盲孔与所述第二真空软管的连接处设有第二管状引脚。

优选的，所述第一管状引脚和所述第二管状引脚的材质均为不锈钢材质。

优选的，所述第一面板的长度大于所述探针的长度，所述第二面板的长度大于所述探针的长度。

优选的，所述第一面板和所述第二面板形状相同且均为长方形。

优选的，所述第一面板上的所述第一盲孔与所述第二面板上的所述第三盲孔对称设置，所述第一面板上的所述第二盲孔与所述第二面板上的所述第四盲孔对称设置。

优选的，所述第一面板内部设有第一真空层，所述第一真空层与所述第一盲孔的底部以及所述第二盲孔的底部连通；所述第二面板内部设有第二真空层，所述第二真空层与所述第三盲孔的底部以及所述第四盲孔的底部连通。

优选的，所述第一面板的所述第一侧面上还设有第一手柄，所述第二面板的所述第二侧面上还设有第二手柄。

优选的，所述第一面板和所述第二面板的材质为金属材质。

优选的，所述第一盲孔和所述第三盲孔的直径分别为0.5mm。

本实用新型的有益效果：无需使用镊子，简化取放针的过程，避免因不同的操作者的差异造成不必要的浪费，使取放针更加精准，人为操作更加简便，提高探针的有效使用率，降低成本。

附图说明

图1为本实用新型的一种优选实施例中，探针取放工具的使用示意图之一；

图2为本实用新型的一种优选实施例中，探针取放工具的使用示意图之二；

图3为本实用新型的一种优选实施例中，探针取放工具的使用示意图之三；

图4为本实用新型的一种优选实施例中，探针取放工具的使用示意图之四；

图5为本实用新型的一种优选实施例中，探针取放工具的使用示意图之五。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，下述技术方案，技术特征之间可以相互组合。

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明：

如图1-5所示，一种探针取放工具，包括：

抽真空装置16；