[实用新型]一种探针取放工具有效
| 申请号: | 201720325554.8 | 申请日: | 2017-03-30 |
| 公开(公告)号: | CN207067198U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
| 发明(设计)人: | 李欣 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
| 代理公司: | 上海申新律师事务所31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
| 地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 探针 工具 | ||
1.一种探针取放工具,其特征在于,包括:
抽真空装置;
第一面板,所述第一面板具有一第一预定厚度,所述第一面板上设有第一盲孔和第二盲孔,所述第一盲孔的底部和所述第二盲孔的底部连通,定义所述第一面板与第二面板折叠后相向的面为第一正面,定义所述第一面板与所述第二面板非铰链的面为第一侧面,所述第一盲孔的开口端设置于所述第一正面,所述第二盲孔的开口端设置于所述第一侧面;
所述第二面板,所述第二面板具有一第二预定厚度,所述第二面板上设有第三盲孔和第四盲孔,所述第三盲孔的底部和所述第四盲孔的底部连通,定义所述第二面板与所述第一面板折叠后相向的面为第二正面,定义所述第二面板与所述第一面板非铰链的面为第二侧面,所述第三盲孔的开口端设置于所述第二正面,所述第四盲孔的开口端设置于所述第二侧面;
第一真空软管,所述第一真空软管的一端连接所述第二盲孔的开口端,另一端连接所述抽真空装置,所述第一真空软管上设有第一限流阀;
第二真空软管,所述第二真空软管的一端连接所述第四盲孔的开口端,另一端连接所述抽真空装置,所述第二真空软管上设有第二限流阀。
2.根据权利要求1所述的探针取放工具,其特征在于,所述探针取放工具还包括
三通阀,所述第一真空软管和所述第二真空软管通过所述三通阀连接所述抽真空装置,所述三通阀设置于所述抽真空装置和所述第一限流阀以及所述抽真空装置和所述第二限流阀之间。
3.根据权利要求1所述的探针取放工具,其特征在于,所述第二盲孔与所述第一真空软管的连接处设有第一管状引脚,所述第四盲孔与所述第二真空软管的连接处设有第二管状引脚。
4.根据权利要求3所述的探针取放工具,其特征在于,所述第一管状引脚和所述第二管状引脚的材质均为不锈钢材质。
5.根据权利要求1所述的探针取放工具,其特征在于,所述第一面板的长度大于所述探针的长度,所述第二面板的长度大于所述探针的长度。
6.根据权利要求1所述的探针取放工具,其特征在于,所述第一面板和所述第二面板形状相同且均为长方形。
7.根据权利要求6所述的探针取放工具,其特征在于,所述第一面板上的所述第一盲孔与所述第二面板上的所述第三盲孔对称设置,所述第一面板上的所述第二盲孔与所述第二面板上的所述第四盲孔对称设置。
8.根据权利要求1所述的探针取放工具,其特征在于,所述第一面板内部设有第一真空层,所述第一真空层与所述第一盲孔的底部以及所述第二盲孔的底部连通;所述第二面板内部设有第二真空层,所述第二真空层与所述第三盲孔的底部以及所述第四盲孔的底部连通。
9.根据权利要求1所述的探针取放工具,其特征在于,所述第一面板的所述第一侧面上还设有第一手柄,所述第二面板的所述第二侧面上还设有第二手柄。
10.根据权利要求1所述的探针取放工具,其特征在于,所述第一面板和所述第二面板的材质为金属材质。
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