[实用新型]一种扩张性能高效均匀的扩晶机有效
| 申请号： | 201720284742.0 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN206541808U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 宋春含 | 申请（专利权）人： | 宋春含 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312451 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩张 性能 高效 均匀 扩晶机 | ||
1.一种扩张性能高效均匀的扩晶机，其结构包括压气管（1）、顶杆（2）、气管（3）、上圆盘（4）、立杆（5）、下圆盘（6）、调节器（7）、机箱（8）、滑轮（9）、温度显示屏（10）、温度开关（11）、电源开关（12）、上气缸下压按键（13）、下气缸下降按键（14）、下气缸上升按键（15）、清洁装置（16）、锁扣（17），所述压气管（1）与顶杆（2）相连接，所述顶杆（2）通过锁扣与气管（3）活动连接，所述上圆盘（4）与压气管（1）活动连接，所述立杆（5）与机箱（8）相连接，所述下圆盘（6）设于上圆盘（4）的下方，所述调节器（7）与机箱（8）相连接，其特征在于：
所述机箱（8）与滑轮（9）相连接，所述机箱（8）上设有温度显示屏（10），所述温度显示屏（10）设于温度开关（11）的左方，所述温度开关（11）设于电源开关（12）的左方，所述上气缸下压按键（13）设于温度开关（11）的上方，所述下气缸下降按键（14）设于上气缸下压按键（13）与下气缸上升按键（15）的中间，所述机箱（8）上设有清洁装置（16），所述锁扣（17）设于机箱（8）的上方；
所述清洁装置（16）由枪头（1601）、机体（1602）、螺塞（1603）、把手开关（1604）、防滑手柄（1605）、接口（1606）组成，所述枪头（1601）与机体（1602）相连接，所述机体（1602）通过螺塞（1603）与把手开关（1604）相连接，所述机体（1602）上设有防滑手柄（1605），所述防滑手柄（1605）上设有接口（1606）。
2.根据权利要求1所述的一种扩张性能高效均匀的扩晶机，其特征在于：所述机箱（8）的长度为270mm。
3.根据权利要求1所述的一种扩张性能高效均匀的扩晶机，其特征在于：所述机箱（8）宽度为220mm。
4.根据权利要求1所述的一种扩张性能高效均匀的扩晶机，其特征在于：所述温度显示屏（10）的形状为正方形。
5.根据权利要求1所述的一种扩张性能高效均匀的扩晶机，其特征在于：所述滑轮（9）有4个。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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