[实用新型]一种支撑腿可拆卸的石英舟

权利要求书

1.一种支撑腿可拆卸的石英舟，其特征在于，包括：

承载部(1)，用于承载硅片；

支撑部，位于所述承载部(1)的底部，以支撑所述承载部(1)，所述支撑部包括设置于所述承载部(1)两侧的多条支撑腿(2)，所述支撑腿(2)与所述承载部(1)可拆卸连接。

2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述承载部(1)的底部和所述支撑腿(2)的顶部中的一个设置有燕尾槽(3)，另一个设置有燕尾榫(4)，所述燕尾槽(3)和所述燕尾榫(4)插接配合。

3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述燕尾槽(3)和所述燕尾榫(4)上均设置有定位孔(5)，所述燕尾槽(3)和所述燕尾榫(4)通过穿过所述定位孔(5)的螺栓定位。

4.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述承载部(1)的底部和所述支撑腿(2)的顶部均设置有固定孔(6)，所述承载部(1)和所述支撑腿(2)通过穿过所述固定孔(6)的螺栓固定。

5.如权利要求1-4任一项所述的石英舟，其特征在于，所述支撑腿(2)的底面的面积大于顶面的面积。

6.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述支撑腿(2)的底部的侧面从上到下呈外凸的弧面。

7.如权利要求1-4任一项所述的石英舟，其特征在于，所述承载部(1)的顶部设置有套管(7)，所述套管(7)用于与舟叉配合搬运所述石英舟，所述套管(7)的内径从一端到另一端保持一致，外径从一端到另一端逐渐变大。

8.如权利要求7所述的石英舟，其特征在于，所述套管(7)的内腔沿轴向设置有多个环形凹槽(71)。

9.如权利要求1-4任一项所述的石英舟，其特征在于，所述承载部(1)包括位于两端的承载架(11)，两端的所述承载架(11)之间连接有多根支撑杆，多根所述支撑杆包括位于底部的底部支撑杆(12)和位于两侧的侧部支撑杆(13)。

10.如权利要求9所述的石英舟，其特征在于，位于外侧的所述底部支撑杆(12)之间的距离大于硅片的底边长度，位于中部的所述底部支撑杆(12)以及侧部支撑杆(13)上均设置有用于对硅片限位的卡槽。