[实用新型]气体匀流组件及片材表面处理装置

说明书

技术领域

本实用新型属于光伏太阳能电池硅片制造技术领域，具体涉及一种气体匀流组件，还涉及一种包括上述气体匀流组件的片材表面处理装置。

背景技术

随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。而光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片、多晶硅片作为光伏发电的太阳能电池片的基础材料，拥有广泛的市场需求。

在太阳能电池的加工过程中，为了提高太阳能电池的转换效率，需要对表面制绒后的硅片进行有效的钝化，通过氧化法在硅片表面形成二氧化硅薄膜，目前常用的工艺是采用臭氧气体进行硅片钝化。图1展示了一种现有技术中的硅片臭氧钝化装置。硅片花篮插装硅片后，横向放置在硅片臭氧钝化装置的箱体1内；而供气装置采用单管连接的方式连接箱体1，氮气、臭氧通过箱体顶部的进气管2进入箱体，反应完成后，通过箱体底部的出气管3，在真空泵5的工作下抽出箱体。

上述硅片臭氧钝化装置在气体进出箱体的过程中会存在以下技术问题：

首先，气体进出箱体点单一，流速较快，容易造成硅片品质隐患：如图1所示，箱体顶部和底部只设计一个进气、出气通路时，气体会迅速的在进气通路和出气通路之间流进流出，形成较快的流速，从而对此区间放置的硅片形成一定的气流冲击力度，而硅片由于单薄、质轻、易碎的产品特性，抗气流冲击力弱，这种气体进出方式容易造成硅片晃动，带来隐裂等品质隐患。

其次，气体在箱体内扩散不均匀，影响清洁效果及产品氧化效率：氮气通过箱体顶部的进气通路进入箱体，并通过底部的出气通路，在真空泵的工作下流出箱体，从而完成箱体内部的清洁工作。但这种入气出气方式会使得氮气进入箱体后很快地流出箱体，气体不易扩散且流动速度快，不易将箱体内部各个角落的废气杂质排出箱体，清洁效率低。

再者，臭氧通入箱体后，需耗费较长时间扩散均匀，且箱体内各部分臭氧浓度不一致，需经过较长时间达到浓度均衡的效果，从而造成靠近进气通路的硅片臭氧浓度高且氧化时间较长，远离出气通路的硅片臭氧浓度低且氧化时间较短。

而且，臭氧排气效率较低，需花费较长时间，且靠近出气通路的臭氧容易排出，远离出气通路的臭氧不易排出。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体匀流组件，解决现有的硅片臭氧钝化装置由于气体流速快、扩散不均匀导致硅片容易隐裂、氧化效率以及箱体清洁效率低的问题。

本实用新型的目的还在于提供一种包括上述气体匀流组件的片材表面处理装置，其可以在硅片表面制备高质量的氧化硅钝化膜，进而提高太阳能电池片的转换效率。

本实用新型所采用的一种技术方案是：气体匀流组件，包括气体控制阀门和连接气体控制阀门的气管，还包括相互连通的第一匀流件和第二匀流件，第一匀流件通过气体控制阀门连通气管，第一匀流件具有多个分气通路，第二匀流件上开设多个气孔，多个气孔与多个分气通路相通。

本实用新型的特点还在于，

第一匀流件的侧壁向外凸出形成多个分气通路，第一匀流件的内部中空形成与多个分气通路相通的分气腔，多个分气通路与气管相对设置，多个分气通路依次经分气腔、气体控制阀门后连通气管。

第二匀流件连通多个分气通路的表面向内凹陷形成中空的分流腔，分流腔连通于多个分气通路和多个气孔之间，且多个气孔和多个分气通路相对设置。

多个气孔均匀排布在与分流腔相对的第二匀流件上。

多个分气通路均匀分布在第一匀流件的侧壁上。

片材表面处理装置，其利用气流对片材进行表面处理，片材表面处理装置包括箱体，还包括至少一个如上所述的气体匀流组件，气体匀流组件设置于箱体内。

本实用新型的特点还在于，

气体匀流组件安装于箱体内的侧壁上，气体匀流组件的气管穿过箱体的侧壁连接供气或抽气装置，箱体内部空间形成片材表面处理区域。

箱体内对称设置两个气体匀流组件：一个气体匀流组件安装于箱体内部上壁，其连接的气管为进气管，进气管连接供气装置；另一个气体匀流组件安装于箱体内部底部，其连接的气管为出气管，出气管连接抽气装置。

两个气体匀流组件之间的箱体内部空间形成片材表面钝化处理的区域，安装于箱体内部底部的气体匀流组件的第二匀流件上安装用于放置花篮的定位承载机构。

还包括架体，箱体放置于架体上，架体底部安装有移动轮。