[实用新型]底座有效
申请号: | 201720253861.X | 申请日: | 2017-03-15 |
公开(公告)号: | CN206638410U | 公开(公告)日: | 2017-11-14 |
发明(设计)人: | 王孟文;辛伟 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01M13/00 | 分类号: | G01M13/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 300385 天津市西青*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底座 | ||
1.一种底座,用于对采用不同封装载体进行封装的待测产品进行固定,其特征在于,包括支撑平台,在所述支撑平台上设置有多个用于放置待测产品的凹槽;在所述支撑平台相对的两侧边的边缘设置有固定装置,用于固定待测产品;在所述支撑平台上设置有多个通孔,所述通孔连接至气体系统,用于产生真空吸附所述待测产品。
2.如权利要求1所述的底座,其特征在于,多个所述通孔分为第一类通孔与第二类通孔,所述第一类通孔位于所述支撑平台的中心,所述第二类通孔围绕所述第一类通孔。
3.如权利要求2所述的底座,其特征在于,所述底座包括多个所述第一类通孔与多个所述第二类通孔,多个所述第一类通孔在所述支撑平台内部彼此连通,并连接至第一气体系统;所述第二类通孔在所述支撑平台内部彼此连通,并连接至第二气体系统。
4.如权利要求3所述的底座,其特征在于,所述底座包括1个所述第一类通孔和8个所述第二类通孔。
5.如权利要求2所述的底座,其特征在于,所述凹槽呈条状,所述凹槽两端分别延伸至所述支撑平台上设置有所述固定装置的两端。
6.如权利要求5所述的底座,其特征在于,在所述支撑平台一直径的两侧分别设置有凹槽,所述凹槽背离所述第一类通孔的一侧均设置有所述第二类通孔。
7.如权利要求6所述的底座,其特征在于,在所述支撑平台一直径的两侧分别设置有三条凹槽。
8.如权利要求7所述的底座,其特征在于,所述凹槽的宽度为0mm~2mm,所述凹槽的深度为7mm~9mm,在所述支撑平台一直径的任一侧的凹槽之间的间距为1mm~3mm,最靠近所述支撑平台一直径的两个凹槽之间的间距为5mm~7mm。
9.如权利要求6所述的底座,其特征在于,在平行于所述凹槽的方向上,位于所述第一类通孔两侧的所述第二类通孔之间的距离为30mm~50mm;在垂直于所述凹槽的方向上,位于所述第一类通孔两侧的所述第二类通孔之间的距离为50mm~70mm。
10.如权利要求1所述的底座,其特征在于,所述固定装置为弹簧夹。
11.如权利要求10所述的底座,其特征在于,所述弹簧夹包括一夹头与一压条,所述夹头固定于所述支撑平台的边缘,所述压条的一端与所述夹头相连接,所述压条的另一端向所述支撑平台的中心延伸,用于固定所述待测产品。
12.如权利要求11所述的底座,其特征在于,所述夹头包括一支撑柱与一弹簧,所述支撑柱的一端固定于所述支撑平台的边缘,所述支撑柱的另一端与所述压条相连接,在所述压条与所述支撑平台之间的支撑柱上环绕有所述弹簧,在所述支撑柱远离所述支撑平台的一端上设置有螺纹,在所述压条之上的支撑柱上设置有螺帽,通过所述螺帽的旋转,调节所述弹簧的长度。
13.如权利要求12所述的底座,其特征在于,所述压条包括两部分,第一部分压条与所述夹头相连接,第二部分压条与所述第一部分压条呈一钝角,延伸至所述支撑平台的中心;在所述第一部分压条与第二部分压条连接的位置处设置有一支撑条,所述支撑条的另一端固定至所述支撑平台,用于支撑所述压条。
14.如权利要求13所述的底座,其特征在于,所述第二部分压条呈条状,靠近所述第一部分压条处的第二部分压条的宽度为3mm~5mm,靠近所述支撑平台中心的所述第二部分压条的宽度为4mm~6mm,所述支撑条的高度为1.4cm~1.6cm。
15.如权利要求1~14中任一项所述的底座,其特征在于,所述支撑平台为一圆盘,所述圆盘的直径为300mm。
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