[实用新型]芯片智能检查机的废料处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体颗粒检测技术领域，具体涉及一种芯片智能检查机的废料处理装置。

背景技术

芯片智能检查机包括机座和主控制器，机座上设有检测半导体产品表面特征的检测设备，自动放置料盘的放料装置、自动收取检测后料盘的下料装置、用于移动和定位料盘的料盘移动装置、取放料机械手，料盘移动装置的移动步距与待检测的料盘上的器件之间的间距相同，通过放料装置和取放料机械手将料盘输送至移动平台上，在移动平台上定位后固定，此后便可对料盘进行检测，可节省大量人工操作，每检测完料盘上的一个器件后，料盘移动平台会移动一个步距对下一个器件进行检测，实现对料盘进行流水线式检测。

检测到废料后需要对废料进行剔除，且需要对废料进行归类收集。而现有的料盒大多缺少分类功能。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足，提供一种归类方便的废料处理装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：芯片智能检查机的废料处理装置，包括设有真空吸头的机械臂、用于收集废料的废料盒组件以及支撑废料盒组件的机架，机架上还设置上滑轨和电机驱动机械臂在上滑轨上移动，机架底部设置下滑轨，废料盒组件的底部设置一个与下滑轨相配合的第一滑块，废料盒组件在第一滑块作用下可以在下滑轨上滑动，所述废料盒组件上方设置挡板，挡板上与真空吸头对应位置设置一个过孔用于落料，废料盒组件包括一个盒体，盒体的顶板设置多个间隔设置的落料孔，落料孔的正下方设置废料储料盒，废料储料盒与盒体之间为活动连接。

进一步的，所述废料储料盒由磁性材料制成，盒体的内侧壁与废料储料盒对应位置固定设置多个永磁体，废料储料盒与永磁体吸合固定。

进一步的，所述盒体内还设置触控开关用于检测废料储料盒位置是否偏移，所述触控开关与废料储料盒一一对应。

进一步的，所述盒体的外侧壁还设置第二滑块，机架上设置一个水平滑杆，第二滑块套装在水平滑杆上且可在滑杆上滑动。

从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点：废料盒组件根据PLC的控制信号移动相应的步距，每个废料储料盒对应一种类型的废料，实现对废料的归类，同时，每个单独的废料储料盒拆卸方便，只需要用力将其与永磁体分离即可，当废料满时，无需将整个废料盒组件拆下清理，只需拆下对应的废料储料盒即可；设置第二滑块和滑杆可以防止盒体在滑动过程中发生侧翻。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中废料盒组件的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。

如图1、2所示，芯片智能检查机的废料处理装置，包括设有真空吸头5的机械臂6、用于收集废料的废料盒组件以及支撑废料盒组件的机架9，机架9上还设置上滑轨7和电机8驱动机械臂6在上滑轨7上的移动，机架底部设置下滑轨11，废料盒组件的底部设置一个与下滑轨11相配合的第一滑块10，废料盒组件在第一滑块10作用下可以在下滑轨11上滑动，废料盒组件上方设置挡板2，挡板2上与真空吸头5对应位置设置一个过孔4用于落料，废料盒组件包括一个盒体1，盒体1的顶板设置多个间隔设置的落料孔12，落料孔12的正下方设置废料储料盒3，废料储料盒3由磁性材料制成，盒体1的内侧壁与废料储料盒3对应位置固定设置多个永磁体14，废料储料盒3与永磁体14吸合固定。

废料盒组件根据PLC的控制信号移动相应的步距，每个废料储料盒对应一种类型的废料，实现对废料的归类，同时，每个单独的废料储料盒拆卸方便，只需要用力将其与永磁体分离即可，当废料满时，无需将整个废料盒组件拆下清理，只需拆下对应的废料储料盒即可。

在盒体内还设置触控开关13用于检测废料储料盒位置是否偏移，所述触控开关与废料储料盒一一对应，触控开关13可以与系统的PLC系统连接，当废料储料盒发生偏移时，可以向系PLC系统发送偏移信号，当废料储料盒与触控开关13相抵时，表示废料储料盒位置正确。

盒体的外侧壁还设置第二滑块(图中未画出)，机架上设置一个水平滑杆14，第二滑块套装在水平滑杆上且可在滑杆上滑动。该结构可以防止盒体在滑动过程中发生侧翻。