[实用新型]提拉装置及搬运系统有效

专利信息
申请号: 201720232905.0 申请日: 2017-03-10
公开(公告)号: CN206574695U 公开(公告)日: 2017-10-20
发明(设计)人: 张治俊;汤敬计 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 屈蘅,李时云
地址: 300385 天津市西青*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 装置 搬运 系统
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及半导体技术领域,特别涉及一种提拉装置及搬运系统。

背景技术

在半导体行业中,有一些机台没有自带的机械手臂,因此在机台工作过程中,需要靠工作人员手动不断地搬运装有晶片的片匣,非常的费力且不便捷。

在晶片再生制造和对晶片进行清洗的过程中,往往需要工作人员手动在不同的凹槽之间频繁地传递搬运装有晶片的片匣。当片匣装满晶片时,自身重量就会很大,并且对晶片清洗完后片匣上沾满了水,在工作人员搬运的过程中,片匣就容易从手中滑落,导致晶片破碎,存在着一定的风险和不便利。

因此如何避免工作人员在搬运片匣的过程中,片匣容易从手中滑落的问题成了本领域技术人员需要解决的一个问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种提拉装置及搬运系统,以解决工作人员在搬运片匣的过程中,片匣容易从手中滑落的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种提拉装置,协助工作人员方便安全的搬运装有晶片的片匣,所述提拉装置包括:

主体,所述主体上设有凹槽,所述凹槽啮合所述片匣的手柄;

连接杆,所述连接杆固定在所述主体上。

可选的,在所述提拉装置中,所述提拉装置还包括支撑条,所述支撑条固定于所述主体的第一表面,所述主体的第一表面与所述片匣相对。

可选的,在所述提拉装置中,所述支撑条设置在所述主体第一表面的底端。

可选的,在所述提拉装置中,所述连接杆上设有把手,所述把手位于所述连接杆的顶端。

可选的,在所述提拉装置中,所述提拉装置还包括支撑柄,所述连接杆上具有防滑结构。

可选的,在所述提拉装置中,所述提拉装置的材料是特氟龙。

本实用新型还提供了一种搬运系统,用于搬运晶片,所述搬运系统包括片匣和提拉装置,其中,

所述片匣包括本体,所述本体的一侧设有手柄;

所述提拉装置包括主体和连接杆,所述主体设有凹槽,所述凹槽啮合所述片匣上的手柄;所述连接杆固定在所述主体上。

可选的,在所述搬运系统中,所述提拉装置还包括支撑条,所述支撑条固定于所述主体的第一表面,所述主体的第一表面与所述片匣相对。

可选的,在所述搬运系统中,所述支撑条设置在所述主体第一表面的的底端。

可选的,在所述搬运系统中,所述连接杆上设有把手,所述把手位于所述连接杆的顶端。

可选的,在所述搬运系统中,所述连接杆上设有防滑结构。

可选的,在所述搬运系统中,制作所述搬运系统的材料是特氟龙。

在本实用新型提供的提拉装置中,所述提拉装置包括主体,所述主体上设有凹槽,用于啮合片匣的手柄,由此可以使得所述片匣能够嵌入贴合在所述主体中;所述提拉装置还包括设置在所述主体上的连接杆,工作人员通过握住所述连接杆能够很方便的提力拿起所述片匣,提高了搬运片匣的便捷性和安全性;进一步的,本实用新型还提供了搬运系统,包括片匣和上述提拉装置,所述片匣包括本体,所述本体的一侧设有手柄;所述提拉装置包括主体和连接杆,所述主体设有凹槽,所述凹槽啮合所述片匣上的手柄;所述连接杆固定在所述主体上;将晶片装在所述片匣的本体中,通过握住所述提拉装置上的连接杆能够安全地搬运晶片。

附图说明

图1是片匣的结构示意图;

图2是本实用新型提供的提拉装置结构示意图;

图3是本实用新型提供的搬运系统结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的提拉装置及搬运系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

在现在半导体行业中,工作人员用于手动装运晶片的片匣1结构示意图如图1所示,所述片匣1包括本体10,所述本体10是一个容器结构,用于承载晶片;所述片匣1还包括手柄11,所述手柄11设置在所述本体10上,工作人员通过抓住所述手柄11来搬运所述片匣1。进一步的,所述本体10只有一侧设置有所述手柄11。当所述本体10中装满晶片时,所述片匣1的自重非常大,因此当握住手柄11时,容易发生所述本体10倾斜,进而导致晶片滑落等问题;此外,当片匣上沾满水时,也容易使得工作人员不能抓牢片匣,从而导致片匣滑落、晶片破损等问题。

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