[实用新型]提拉装置及搬运系统有效
| 申请号： | 201720232905.0 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN206574695U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 张治俊;汤敬计 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 搬运 系统 | ||
1.一种提拉装置，用于提拉片匣，其特征在于，所述提拉装置包括：
主体，所述主体上设有凹槽，所述凹槽啮合所述片匣的手柄；
连接杆，所述连接杆固定在所述主体上。
2.如权利要求1所述的提拉装置，其特征在于，所述提拉装置还包括支撑条，所述支撑条固定于所述主体的第一表面，所述主体的第一表面与所述片匣相对。
3.如权利要求2所述的提拉装置，其特征在于，所述支撑条设置在所述主体第一表面的底端。
4.如权利要求1所述的提拉装置，其特征在于，所述连接杆上设有把手，所述把手位于所述连接杆的顶端。
5.如权利要求4所述的提拉装置，其特征在于，所述连接杆上设有防滑结构。
6.如权利要求1所述的提拉装置，其特征在于，所述提拉装置的材料是特氟龙。
7.一种搬运系统，用于搬运晶片，其特征在于，所述搬运系统包括片匣和提拉装置，其中，
所述片匣包括本体，所述本体的一侧设有手柄；
所述提拉装置包括主体和连接杆，所述主体设有凹槽，所述凹槽啮合所述片匣上的手柄；所述连接杆固定在所述主体上。
8.如权利要求7所述的搬运系统，其特征在于，所述提拉装置还包括支撑条，所述支撑条固定于所述主体的第一表面，所述主体的第一表面与所述片匣相对。
9.如权利要求8所述的搬运系统，其特征在于，所述支撑条设置在所述主体第一表面的的底端。
10.如权利要求7所述的搬运系统，其特征在于，所述连接杆上设有把手，所述把手位于所述连接杆的顶端。
11.如权利要求10所述的搬运系统，其特征在于，所述连接杆上设有防滑结构。
12.如权利要求7所述的搬运系统，其特征在于，制作所述搬运系统的材料是特氟龙。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
