[实用新型]一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手

权利要求书

1.一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手，所述机械手安装在晶圆搬送机上，其特征在于：所述机械手包括用于装夹晶圆的机械手臂(1)和用于传送机械手臂的传动机构(2)，所述传动机构包括固定座(3)、设于固定座上表面的直线导轨(4)和设于固定座一侧的动力机构(5)，所述动力机构包括用于驱动的伺服电机(6)、设于固定座两端的同步皮带轮(7)和用于联动同步皮带轮的同步皮带(8)，所述机械手臂包括用于装夹晶圆的托盘(9)和一端固定有托盘的横臂(10)，所述横臂(10)的另一端设有安装块(11)，所述安装块设有滑槽(12)与直线导轨(4)配合，所述安装块上还连接用于与同步皮带进行固定的固定夹(13)，所述固定座的另一侧设有折叠的真空气管(14)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手，其特征在于：所述动力机构(5)下方分布有机械手行程传感器(15)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手，其特征在于：所述直线导轨(4)上首尾两端均设有机械手臂的限位块(16)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手，其特征在于：所述托盘(9)呈“C”型。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手，其特征在于：所述托盘(9)厚度为1.5mm。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手，其特征在于：所述固定夹(13)与安装块(11)配合，将同步皮带(8)夹设在中间，并通过螺栓进行锁紧，所述固定夹(13)与同步皮带(8)花纹的接触面设有匹配的波浪槽。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手，其特征在于：所述固定座(3)底部设有安装基座，用于安装在晶圆搬送机上。