[实用新型]一种空芯金属化设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及材料制造领域，尤其涉及一种用于内表面金属化空芯陶瓷绝缘子的空芯金属化设备。

背景技术

常见的微波绝缘子有两种材质：玻璃绝缘子和陶瓷绝缘子。玻璃属于非晶体结构，没有固定熔点，虽然具有无机材料的优异绝缘性能，但由于本身机械强度不高又具有亲水性，因此，容易形成导电通路，所以玻璃绝缘子不适合于焊接气密性封装；氧化铝陶瓷绝缘子是使用高纯度氧化铝粉经高温烧结制作而成，具有机械强度高、电器性能好、热膨胀系数小、高温电器绝缘性能好、耐热耐磨好等一系列优异的性能，使得陶瓷绝缘子成为电真空器件的主要绝缘材料。然而，由于氧化铝陶瓷无法与金属直接焊接，因此，需要在陶瓷表面烧结上具有一定厚度且致密性良好的金属镀层。

陶瓷绝缘子金属化的质量会直接影响到封接气密性强度，均匀的金属化镀层可以大幅度提高金属化强度。传统的陶瓷金属化方法主要有真空蒸发镀膜法、真空溅射镀膜法、Mo-Mn烧结法等，然而这些方法都不能使空芯陶瓷绝缘子的孔壁上获得均匀的金属化镀层。

实用新型内容

有鉴于此，为了在空芯陶瓷绝缘子的内表面上获得均匀的金属化镀层，本实用新型提出了用于内表面金属化空芯陶瓷绝缘子的一种空芯金属化设备。

本申请实施例提供了一种空芯金属化设备，包括抽气泵、抽气通道、承桶和夹具；所述承桶具有侧壁、底壁和腔室，所述腔室顶部水平开口，所述侧壁有抽气孔；所述抽气通道一端连接所述抽气孔，另一端连接抽气泵，使所述抽气泵通过抽气通道与所述腔室连通；所述夹具上具有贯穿上、下平面的垂直阶梯孔，上平面孔径大于下平面孔径，所述阶梯孔位于所述腔室的上方；所述夹具覆盖所述腔室顶部水平开口，所述夹具和所述侧壁具有气密性连接结构。

进一步地，所述气密性连接结构为：所述夹具上具有定位孔，所述侧壁顶部具有与所述定位孔相对应的固定孔，所述定位孔和固定孔通过螺栓连接。

可选择地，所述气密性连接结构为：所述夹具边缘具有外螺纹；所述侧壁上具有与所述外螺纹相配合的内螺纹。

本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：能够使空芯陶瓷绝缘子的内表面上获得均匀的金属化镀层，且操作简单快捷，生产效率高。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是空芯金属化设备结构；

图2是另一种空芯金属化设备结构；

图3是多孔夹具俯视图；

图4是多孔夹具剖面图；

图5是空芯陶瓷绝缘子金属化方法流程图。

图6是单孔陶瓷绝缘子俯视图；

图7是单孔陶瓷绝缘子剖面图；

图8是空芯陶瓷绝缘子放入夹具俯视图；

图9是空芯陶瓷绝缘子放入夹具剖面图；

图10是空芯陶瓷绝缘子填充钨浆料剖面图；

图11是空芯陶瓷绝缘子内表面覆盖钨浆料剖面图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

以下结合附图，详细说明本申请各实施例提供的技术方案。

图1是空芯金属化设备结构图。所述空芯金属化设备，包括抽气泵11、抽气通道12、承桶和夹具13。

所述承桶具有侧壁14、底壁15和腔室16，所述腔室顶部水平开口，所述侧壁有抽气孔17。

所述抽气通道一端连接所述抽气孔，另一端连接抽气泵，使所述抽气泵通过抽气通道与所述腔室连通。

所述夹具上具有贯穿上、下平面的垂直阶梯孔18，上平面孔径大于下平面孔径，所述阶梯孔位于所述腔室的上方。

所述夹具覆盖所述腔室顶部水平开口，所述夹具和所述侧壁具有气密性连接结构。

所述气密性连接结构为：所述夹具上具有定位孔19，所述侧壁顶部具有与所述定位孔相对应的固定孔20，所述定位孔和固定孔通过螺栓21连接。

图2是另一种空芯金属化设备原理图。所述空芯金属化设备，包括抽气泵11、抽气通道12、承桶和夹具213。

所述承桶具有侧壁14、底壁15和腔室16，所述腔室顶部水平开口，所述侧壁有抽气孔17。