[实用新型]一种空芯金属化设备有效
| 申请号： | 201720193868.7 | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN206497790U | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 郑颖;高珊;金华江;许妍 | 申请（专利权）人： | 河北盛平电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01B19/04 | 分类号： | H01B19/04 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司11331 | 代理人： | 张宇峰 |
| 地址： | 050091 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属化 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种空芯金属化设备，其特征在于，包括抽气泵、抽气通道、承桶和夹具；
所述承桶具有侧壁、底壁和腔室，所述腔室顶部水平开口，所述侧壁有抽气孔；
所述抽气通道一端连接所述抽气孔，另一端连接抽气泵，使所述抽气泵通过抽气通道与所述腔室连通；
所述夹具上具有贯穿上、下平面的垂直阶梯孔，上平面孔径大于下平面孔径，所述阶梯孔位于所述腔室的上方；
所述夹具覆盖所述腔室顶部水平开口，所述夹具和所述侧壁具有气密性连接结构。
2.根据权利要求1所述的空芯金属化设备，其特征在于，所述气密性连接结构为：
所述夹具上具有定位孔，所述侧壁顶部具有与所述定位孔相对应的固定孔，所述定位孔和固定孔通过螺栓连接。
3.根据权利要求1所述的空芯金属化设备，其特征在于，所述气密性连接结构为：
所述夹具边缘具有外螺纹；所述侧壁上具有与所述外螺纹相配合的内螺纹。
4.根据权利要求1～3任意一项所述的空芯金属化设备，其特征在于，所述夹具为平板状；所述夹具上分布有多个阶梯孔。
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