[实用新型]一种用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及材料表面镀膜技术领域，特别涉及一种用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置。

背景技术

对于棒状工件，即实心圆柱形工件，当需要对其外表面通过矩形磁控靶进行镀膜时，常规的方法是在环形区域设计自转公转机构，以及工件夹紧机构。但现有的这些夹紧机构有一个缺陷，就是为了防止工件在自转+公转时从夹持机构中脱落，往往在夹持机构上下端设置有“凹”型工装，将工件的端头套在“凹”型工装内，即通过“凹”型工装夹持住工件的端头来避免工件产生横向位移。这样做虽然解决了工件脱落问题，但溅射时“凹”型工装会对工件两个端头的侧面构成遮挡，从而在工件两个端头侧面形成溅射阴影，也就是溅射不上去，对工件留下缺陷，实际生产中，为此往往要在溅射镀膜后，对工件进行二次加工，例如将两个端头未溅射的部分磨掉，或切掉，这样就会增加制造的工艺步骤，并且无论是磨掉，还是切掉，都需要对工件进行侧面的夹持，否则无法受力，这样又会对已经溅射上的薄膜造成损伤。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置，以减少或避免前面所提到的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置，其包括两个相同的由至少三个周向均布的第一定位柱固定连接的定齿轮，每个所述定齿轮旋转连接有同心的转轮，两个所述转轮通过至少三个周向均布的第二定位柱固定连接，两个所述转轮设置有多对可伸缩的第三定位柱，每个所述第三定位柱通过相同的第一动齿轮与对应的所述定齿轮啮合连接。

优选地，所述转轮在侧壁设置有齿形。

优选地，所述第三定位柱包括一个导向筒，导向筒内顺序安装有弹簧和可移动的定位杆。

优选地，所述第三定位柱的用于夹持所述棒状工件的端面是平面。

优选地，所述第三定位柱的用于夹持所述棒状工件的端面是截面为弧度的球面。

优选地，所述第三定位柱的用于夹持所述棒状工件的端面的截面的弧度为0.1-0.4。

优选地，所述第三定位柱的用于夹持所述棒状工件的端面的最大直径是所述棒状工件的端面的直径的1.1-1.3倍。

本实用新型所提供的一种用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置，可有效实现棒状工件的批量镀膜，且能有效保障棒状工件两个端面附近的侧壁的镀膜质量。

附图说明

以下附图仅旨在于对本实用新型做示意性说明和解释，并不限定本实用新型的范围。其中，

图1为根据本实用新型的一个具体实施例的一种用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置的立体结构原理示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本实用新型的具体实施方式。其中，相同的部件采用相同的标号。

图1为根据本实用新型的一个具体实施例的一种用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置的立体结构原理示意图；参见图1所示，本实用新型提供了一种用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置，其包括两个相同的由至少三个周向均布的第一定位柱11固定连接的定齿轮12，每个所述定齿轮12旋转连接有同心的转轮22，两个所述转轮22通过至少三个周向均布的第二定位柱21固定连接，两个所述转轮22设置有多对可伸缩的第三定位柱31，每个所述第三定位柱31通过相同的第一动齿轮32与对应的所述定齿轮12啮合连接。

当需要对实心圆柱形的棒状工件(图中未示出)进行磁控溅射镀膜时，将本实用新型所提供的用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置放在真空腔室中，使两个所述定齿轮12的轴线与水平面垂直并与矩形靶源2的轴线平行，利用成对的所述第三定位柱31从棒状工件的两个端面夹持住棒状工件，从而使得棒状工件的轴线与水平面垂直。驱动至少一个所述转轮22旋转，通过所述第二定位柱21，两个所述转轮22可同轴同步旋转，所述转轮22的旋转即可带动所述第三定位柱31围绕所述转轮22的轴线的公转，所述第三定位柱31的所述第一动齿轮32通过与所述定齿轮12的啮合带动所述第三定位柱31围绕自身轴线自转。这样，每对所述第三定位柱31夹持的棒状工件就都可以有均等的机会通过矩形靶源的工作区域(图中虚线所示区域)，且每个棒状工件的侧壁也都有均等的机会通过矩形靶源的工作区域。从而可保障对棒状工件进行批量镀膜的产品质量。

上下的两个所述定齿轮12相同，也就是说，装配后的通过至少三个周向均布的第一定位柱11固定连接的两个所述定齿轮12可保障在水平面投影的重合，从而保障每对所述第三定位柱31的所述第一动齿轮32自转一致。