[实用新型]一种退火炉尾气回收净化装置有效
申请号: | 201720144885.1 | 申请日: | 2017-02-17 |
公开(公告)号: | CN206715607U | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | 张磊;李宝树;张艺宁 | 申请(专利权)人: | 廊坊广惠气体设备有限公司 |
主分类号: | B01D53/00 | 分类号: | B01D53/00;B01D53/02;B01D46/00;B01D5/00;C21D1/26;C21D1/74;C21D9/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人: | 闫聪彦 |
地址: | 065700 河北省廊*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 退火炉 尾气 回收 净化 装置 | ||
1.一种退火炉尾气回收净化装置,其特征在于,包括依次连通的冷凝装置、第一过滤装置、第一缓冲装置、第二过滤装置、加热装置、脱氧装置和吸附装置,所述冷凝装置的进气口与所述退火炉的尾气出口连通,所述第一缓冲装置上设置有氮气补加口,以及与所述氮气补加口连通的补气装置;
第一加压装置,其进气口与所述第一过滤装置的出气口连通,其出气口与所述第一缓冲装置的进气口连通;
气液分离装置,其进气口与所述第二过滤装置的出气口连通,其出气口与所述加热装置的进气口连通。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括,
第二加压装置,其进气口与所述第一缓冲装置的出气口连通,其出气口与所述第二过滤装置的进气口连通。
3.根据权利要求1或2所述的装置,其特征在于,还包括,
第二缓冲装置,其进气口与所述吸附装置的出气口连通。
4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述第二缓冲装置的出气口与所述退火炉的进气口连通。
5.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,还包括,
稳压装置,其进气口与所述第二缓冲装置的出气口连通,其出气口与所述退火炉的进气口连通。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,还包括,
氧气测试仪、露点测试仪和氮气测试仪,均设置于连通所述第二缓冲装置和所述退火炉的管道上。
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