[实用新型]一种光掩模装片匣的支架有效
| 申请号： | 201720131760.5 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN206757295U | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 李勇;成立炯;胡平 | 申请（专利权）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光掩模装片匣 支架 | ||
1.一种光掩模装片匣的支架，其特征在于，所述支架包括：
第一板材及第二板材，所述第一板材及第二板材呈60～120°夹角设置，所述第一板材与水平面的夹角为15～45°，所述第二板材与水平面的夹角为45～75°。
2.根据权利要求1所述的光掩模装片匣的支架，其特征在于：所述第一板材与第二板材呈80～100°夹角设置。
3.根据权利要求2所述的光掩模装片匣的支架，其特征在于：所述第一板材与第二板材呈90°夹角设置。
4.根据权利要求1所述的光掩模装片匣的支架，其特征在于：所述第一板材与水平面的夹角为25～35°，所述第二板材与水平面的夹角为55～65°。
5.根据权利要求4所述的光掩模装片匣的支架，其特征在于：所述第一板材与水平面的夹角为30°，所述第二板材与水平面的夹角为60°。
6.根据权利要求1所述的光掩模装片匣的支架，其特征在于：还包括固定设置于所述第一板材及第二板材两侧的第一支撑板及第二支撑板，以固定所述第一板材及第二板材。
7.根据权利要求6所述的光掩模装片匣的支架，其特征在于：所述第一支撑板及第二支撑板上均具有沿所述第一板材及第二板材的对应设置的缺口，使得所述第一支撑板及第二支撑板在垂直方向上均不超出所述第一板材及第二板材。
8.根据权利要求7所述的光掩模装片匣的支架，其特征在于：所述第一支撑板及第二支撑板与所述第一板材及第二板通过螺孔及螺丝固定连接。
9.根据权利要求7所述的光掩模装片匣的支架，其特征在于：还包括一底板，固定连接于所述第一支撑板及第二支撑板的底部。
10.根据权利要求1所述的光掩模装片匣的支架，其特征在于：所述第一板材及第二板材为特氟隆板材。
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