[实用新型]真空腔观察窗

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空腔观察窗。

背景技术

真空观察窗是用焊接适配器、快接法兰、CF法兰来封接平面平行窗口所形成的观察窗。真空腔观察窗种类繁多，按照使用对象不同，区分为例如无磁蓝宝石真空观察窗、激光真空观察窗，按照基本结构，区分为例如凹入型真空观察窗、凹凸式真空观察窗。本实用新型所涉及真空腔观察窗用于MOCVD（Metal-organic Chemical Vapor Deposition，即金属有机化合物化学气相沉淀，属于气相外延生长技术）设备，是凹凸式真空观察窗。

常规地，例如中国专利文献CN201729873U，其所公开的观察窗属于凹凸式真空观察窗，其在金属焊接法兰的端部沉孔内直接使用玻璃片抵住密封圈，然后再使用锁紧法兰锁紧，由于玻璃片需要完全纳入到沉孔内，而不容易脱落，密封圈的变形量提前设计好，锁紧法兰与金属焊接法兰依靠端面的配合实现对玻璃片压紧，对密封圈的压紧力不能调整，密封性能相对较差。另外，随着密封圈的老化，密封能力下降，但锁紧法兰不能调整压紧力。

为提高密封能力，中国专利文献CN204434724U所公开的观察窗，在采用一种较深的凹槽结构，在凹槽内通过推杆安装透光板，可以保证透光板不能脱落。其透光板无需与主设备固定，并且增加了透光板的活动范围。然而其活动也意味着密封问题，在机械领域，动密封的设计难度通常都高于静密封的设计难度，并且动密封的密封结构也更容易损坏，换言之，其结构相对比较复杂，后期维护相对困难。

发明内容

因此，本实用新型的目的在于提供一种在具有较高密封性能的条件下，具有较好后期维护性的真空腔观察窗。

依据本实用新型的实施例，提供一种真空腔用观察窗，包括具有管孔的腔室焊接法兰和与该腔室焊接法兰配装并具有观察孔的锁紧法兰，以及窗体组件，其中，管孔与观察孔同轴线，管孔与锁紧法兰相对的一端具有第一沉孔，观察孔与腔室焊接法兰相对的一端具有第二沉孔；

窗体组件包括位于第一沉孔内的密封圈，以及透明窗片；

其中，透明窗片部分的纳入第一沉孔，部分地纳入第二沉孔，并部分地位于第一沉孔和第二沉孔之外，形成支撑，而使得腔室焊接法兰与锁紧法兰间留有调整间隙。

上述真空腔用观察窗，可选地，所述调整间隙的厚度为透明窗片厚度的五分之一~三分之一。

可选地，在第二沉孔内还包括一环形垫片，该环形垫片配置在第二沉孔孔底与透明窗片间。

可选地，所述环形垫片与第二沉孔孔壁间的配合为过盈配合。

可选地，所述密封圈采用断面为圆形的密封圈。

可选地，在第一沉孔的孔底形成有用于在第一沉孔轴向部分地容置密封圈的环形槽。

可选地，环形槽的槽深不大于密封圈断面半径，且不小于密封圈半径的四分之三。

可选地，观察孔的内径小于管孔内径。

依据本实用新型的实施例，不同于常规的观察窗，腔室焊接法兰的法兰盘与锁紧法兰紧密接合的结构，在这种结构中，密封圈的变形受腔室焊接法兰与锁紧法兰自身接合面的限制。在本实用新型的实施例中腔室焊接法兰的法兰盘与锁紧法兰之间不存在直接的接合，而是留有调整间隙，从而可以通过调整法兰连接的螺栓组或者螺钉组实现所需要的预紧。当密封圈老化时，可以进一步预紧，而达到所需要的密封接合力，从而相对而言，能够提高密封部分的使用寿命，而其调整主要是螺栓组或者螺钉组预紧力的调整，后期维护非常方便。

附图说明

图1为一实施例中真空腔用观察窗的爆炸图。

图2为一实施例中真空腔用观察窗装配图的主剖结构示意图。

图中：1.腔室焊接法兰，2.密封圈，3.石英玻璃片，4.四氟垫圈，5.锁紧法兰，6.弹簧垫圈，7.螺钉。

具体实施方式

常规地，真空腔用观察窗，例如图1中石英玻璃片3在真空腔用观察窗上的装配主要是利用法兰连接所产生的约束结构，该约束结构主要体现在腔室焊接法兰1所形成的沉孔内。

公知地，法兰连接一般都是以螺栓或者螺钉7为紧固件，例如螺钉7需要有一定的分布，以获得可靠地紧固，此外，还使用图中所示的弹簧垫圈6，以提供锁紧。对此，均属于机械领域的常规结构，在此不再赘述。

腔室焊接法兰1如图1和2所示，其具备一管段和一法兰盘，其中法兰盘（以下单独记为法兰盘，此外，图中所示的锁紧法兰5也是法兰盘，为加以区分，使用锁紧法兰单独表示）焊接在管段的一端，该端即为与图中所示的锁紧法兰5相连接的一端。管段的另一端通常焊接在例如真空室预设的安装座孔上。