[实用新型]真空腔观察窗有效
| 申请号: | 201720129943.3 | 申请日: | 2017-02-14 |
| 公开(公告)号: | CN206428325U | 公开(公告)日: | 2017-08-22 |
| 发明(设计)人: | 宋德鹏;崔庆华;乔晓杰 | 申请(专利权)人: | 济南力冠电子科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
| 代理公司: | 山东众成清泰律师事务所37257 | 代理人: | 丁修亭 |
| 地址: | 250119 山东省济南市天桥区桑梓*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 空腔 观察窗 | ||
1.一种真空腔用观察窗,包括具有管孔的腔室焊接法兰和与该腔室焊接法兰配装并具有观察孔的锁紧法兰,以及窗体组件,其中,管孔与观察孔同轴线,其特征在于,管孔与锁紧法兰相对的一端具有第一沉孔,观察孔与腔室焊接法兰相对的一端具有第二沉孔;
窗体组件包括位于第一沉孔内的密封圈,以及透明窗片;
其中,透明窗片部分的纳入第一沉孔,部分地纳入第二沉孔,并部分地位于第一沉孔和第二沉孔之外,形成支撑,而使得腔室焊接法兰与锁紧法兰间留有调整间隙。
2.根据权利要求1所述的真空腔用观察窗,其特征在于,所述调整间隙的厚度为透明窗片厚度的五分之一~三分之一。
3.根据权利要求1或2所述的真空腔用观察窗,其特征在于,在第二沉孔内还包括一环形垫片,该环形垫片配置在第二沉孔孔底与透明窗片间。
4.根据权利要求3所述的真空腔用观察窗,其特征在于,所述环形垫片与第二沉孔孔壁间的配合为过盈配合。
5.根据权利要求1或2所述的真空腔用观察窗,其特征在于,所述密封圈采用断面为圆形的密封圈。
6.根据权利要求5所述的真空腔用观察窗,其特征在于,在第一沉孔的孔底形成有用于在第一沉孔轴向部分地容置密封圈的环形槽。
7.根据权利要求6所述的真空腔用观察窗,其特征在于,环形槽的槽深不大于密封圈断面半径,且不小于密封圈半径的四分之三。
8.根据权利要求1或2所述的真空腔用观察窗,其特征在于,观察孔的内径小于管孔内径。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





