[实用新型]一种半自动晶圆贴膜机有效
| 申请号： | 201720122659.3 | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN206520790U | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 那洪亮;韩开宇 | 申请（专利权）人： | 中山市东翔微电子有限公司 |
| 主分类号： | B65B33/02 | 分类号： | B65B33/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528437 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半自动 晶圆贴膜机 | ||
【权利要求书】：
1.一种半自动晶圆贴膜机，包括玻璃导轨柱、圆形玻璃、安装柱、铁环、支撑柱、温控开关、真空开关、主体、真空器、温控器、卷轴、上盖板、划刀和晶圆台，所述安装柱设置在主体后侧边缘，所述卷轴横向设置在安装柱上，所述上盖板通过转轴设置在安装柱上，上盖板中间位置背面侧设置有能沿着设置在上盖板背面侧的若干个玻璃导轨柱滑动转圈的圆形玻璃，所述圆形玻璃上设置有能推动圆形玻璃转圈的带把手的划刀，所述主体上设置有晶圆台以及能箍住晶圆台的铁环，所述晶圆台上表面高于主体上表面，所述铁环上表面高于晶圆台上表面，所述主体前侧边缘设置有用于支撑上盖板往下盖合时的支撑柱，所述主体内部设置有真空器和温控器，所述主体前侧面板设置有对应分别连接至真空器、温控器的真空开关和温控开关。
2.根据权利要求1所述的半自动晶圆贴膜机，其特征在于：所述晶圆台上表面设置有两个以上的气孔。
3.根据权利要求1所述的半自动晶圆贴膜机，其特征在于：所述晶圆台上表面设置有两条以上的定位线。
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