[实用新型]一种传输装置

权利要求书

1.一种传输装置，包括支架，其特征在于：在支架上转动支承安装有若干导杆，所述导杆上同轴连接安装有用于传送硅片的若干滚轮，所述导杆的一端设置有驱动装置，所述驱动装置包括电机、传输带、带轮，所述导杆侧端同轴固设带轮，所述电机通过减速器带动与其同轴设置的主动轮转动，所述主动轮通过传输带连接所述导杆侧端的带轮用于驱动各导杆同步转动。

2.如权利要求1所述的一种传输装置，其特征在于：所述滚轮的外表面套设O型圈，所述O型圈用于支承硅片。

3.如权利要求1所述的一种传输装置，其特征在于：所述滚轮在导杆上位置可调。

4.如权利要求1所述的一种传输装置，其特征在于：所述驱动装置还包括张紧轮、惰轮，其中，所述电机通过减速器带动与其同轴设置的主动轮与张紧轮之间设置有一个惰轮。

5.如权利要求4所述的一种传输装置，其特征在于：每个与导杆侧端同轴固设的带轮之间均设置一个惰轮用以增大传输带与带轮之间的包角。

6.如权利要求4所述的一种传输装置，其特征在于：在沿着硅片传输方向上还设置有用于检测硅片位置的传感器。

7.如权利要求1所述的一种传输装置，其特征在于：所述传输带为同步带。

8.如权利要求1所述的一种传输装置，其特征在于：所述电机为步进电机。